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卢云君

作品数：71 被引量：25H指数：4
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 61篇专利
  • 9篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 23篇机械工程
  • 17篇理学
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 33篇干涉仪
  • 28篇波像差
  • 20篇物镜
  • 15篇剪切干涉
  • 15篇光学
  • 14篇子孔径
  • 14篇面形
  • 14篇光栅
  • 13篇投影物镜
  • 11篇子孔径拼接
  • 10篇物面
  • 9篇口径
  • 9篇成像系统
  • 8篇剪切干涉仪
  • 7篇衍射
  • 7篇全口径
  • 7篇工件台
  • 7篇测量系统
  • 6篇照明
  • 6篇照明系统

机构

  • 71篇中国科学院上...
  • 7篇中国科学院大...

作者

  • 71篇卢云君
  • 70篇王向朝
  • 67篇唐锋
  • 22篇郭福东
  • 12篇刘洋
  • 9篇冯鹏
  • 5篇李中梁
  • 5篇李杰
  • 5篇张国先
  • 3篇朱鹏辉
  • 3篇徐静浩
  • 2篇徐世福
  • 2篇李永
  • 2篇方伟
  • 1篇李思坤
  • 1篇步扬
  • 1篇吴飞斌

传媒

  • 7篇中国激光
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 1篇2024
  • 3篇2023
  • 9篇2022
  • 11篇2021
  • 8篇2020
  • 12篇2019
  • 11篇2018
  • 7篇2017
  • 4篇2016
  • 3篇2015
  • 2篇2014
共 71 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
提高检测速度的投影物镜波像差检测装置及检测方法
一种投影物镜波像差检测装置及检测方法，该投影物镜波像差检测装置包括光源及照明系统、物面光栅、物面位移台、被测投影物镜、像面光栅、二维光电传感器、像面位移台和控制处理单元。本发明通过物面光栅采用周期增大1倍的振幅相位混合光...
唐锋王向朝彭常哲刘洋卢云君
文献传递
平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法
一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法，测量装置包括：平面干涉仪，平面干涉仪支架，安装平台，XY二维运动拼接位移台，俯仰偏摆角二维调节台，偏摆角测量系统，俯仰角测量系统，被测平面光学元件；本发明在平面面形子孔径拼接...
唐锋卢云君王向朝郭福东
对光强波动不敏感的投影物镜波像差检测装置与检测方法
一种对光强波动不敏感的投影物镜波像差检测装置及检测方法，该装置包括光源及照明系统、物面标记板、物面位移台、被测投影物镜、像面标记板、二维光电传感器、像面位移台和控制处理单元；本发明的物面标记板及像面标记板具有用于剪切干涉...
唐锋王向朝卢云君彭常哲刘洋
文献传递
基于深度神经网络的单幅干涉图波前质量参数读取方法
一种基于深度神经网络的单幅干涉图波前质量参数读取方法。光学车间利用干涉仪获取干涉图，通过人工判读法、条纹跟踪法、傅里叶变换法和相移法从干涉图中获取PV值、RMS值等波前质量参数。但人工判读法依赖检测人员的经验，不利于加工...
李佳翰唐锋王向朝卢云君
文献传递
一种锥形镜锥角的检测装置和方法
一种锥形镜的锥角检测装置，包括干涉仪，球面标准镜，五维调整架，精密移动台，精密位移测量传感器；从所述的干涉仪输出的平面波方向依次是同光轴的球面标准镜，待测锥形镜和精密位移测量传感器；所述待测锥形镜固定在所述五维调整架上，...
严焱唐锋王向朝卢云君彭常哲董冠极
文献传递
双光栅朗奇剪切干涉高精度相位提取方法
一种双光栅朗奇剪切干涉高精度相位提取方法，该方法基于双光栅朗奇剪切干涉仪。干涉仪结构包含：光源及照明系统、物面衍射光栅板、像面衍射光栅板、二维光电传感器和计算处理单元。在被测光学成像系统的物平面和像平面分别放置物面衍射光...
常春超李中梁卢云君
锥形镜柱面镜面形的测量装置及测量方法
一种锥形镜柱面镜面形测量装置及测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台和转台实时测量系统，所述的波面测量干涉仪安装在干涉仪支架上；所述的转台实时测量系统包含辅助测量圆柱体和5个精密位移测量传感器。本发...
严焱唐锋王向朝卢云君彭常哲董冠极
文献传递
双侧多重平面倾斜波面干涉仪及其检测方法
一种双侧多重平面倾斜波面干涉仪，系统包括光源模块、第一干涉仪主机、第二干涉仪主机、双面标准平板、双面标准平板调整架、被测非透明平板元件、单点厚度测量传感器、控制处理单元；所述的第一干涉仪主机和第二干涉仪主机均为多重平面倾...
唐锋王向朝郭福东卢云君
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平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法
一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法，装置包括干涉仪、干涉仪拼接位移台、干涉仪倾斜调整台、被测件拼接位移台、被测件倾斜调整台、被测件，支撑平台及控制系统。本发明具有子孔径定位精度高、测量精度高和全自动测量的优点。
唐锋卢云君郭福东王向朝张国先
大口径凸锥镜面形检测系统及检测方法
一种大口径凸锥镜面形拼接检测装置及检测方法，检测装置包含：波面测量干涉仪、干涉仪支架、平面标准镜、计算全息片、供待测凸锥镜放置的工件台；波面测量干涉仪安装在干涉仪支架上，工件台能够垂直于波面测量干涉仪光轴方向的360度旋...
卢云君唐锋王向朝
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