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张小强

作品数：7 被引量：3H指数：1
供职机构：上海大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 7篇光学
  • 7篇光学元件
  • 6篇大口径
  • 6篇大口径光学元...
  • 4篇主控
  • 4篇主控软件
  • 3篇平面度
  • 3篇主控计算机
  • 3篇计算机
  • 2篇数控
  • 2篇数控机
  • 2篇气浮导轨
  • 2篇子孔径
  • 2篇面形
  • 2篇干涉仪
  • 2篇超精
  • 2篇超精密
  • 2篇超精密磨削
  • 1篇低频
  • 1篇平面度误差

机构

  • 7篇上海大学

作者

  • 7篇于瀛洁
  • 7篇武欣
  • 7篇张小强
  • 6篇王伟荣
  • 4篇许海峰
  • 2篇王驰

传媒

  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2013
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法
本发明公开一种大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法，包含数控机箱、主控计算机、测量龙门架、动态干涉仪、干涉仪精调机构、工作平台、气浮导轨。动态干涉仪安装在干涉仪精调机构上，干涉仪精调机构安装于测量龙门架的横梁上，测...
武欣于瀛洁王伟荣张小强许海峰
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大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法
本发明公开一种大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法，包含数控机箱、主控计算机、测量龙门架、动态干涉仪、干涉仪精调机构、工作平台、气浮导轨。动态干涉仪安装在干涉仪精调机构上，干涉仪精调机构安装于测量龙门架的横梁上，测...
武欣于瀛洁王伟荣张小强许海峰
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大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法
本发明公开一种大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法，装置包含数控机箱、主控计算机、被测件移动调整平台、动态干涉仪、干涉仪升降台、测量计算机。被测元件放置于被测件移动调整平台上，动态干涉仪安装在干涉仪升降台上，干涉...
武欣于瀛洁王伟荣张小强许海峰王驰
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平面光学元件平面度动态干涉拼接测量被引量：3
2016年
开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量，并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的影响；根据允许的变化条纹数来控制二维移动平台导轨精度。建立了以ZYGO公司的DynaFiz干涉仪为子口径采集仪器的干涉拼接系统，开展了单口径平面度测量及拼接实验，完成了200mm×300mm平面光学元件的平面度测试，并与大口径干涉仪所测试的全口径测量数据进行比对，拼接结果的10次实验均方差为0．001λ（λ=632．8nm）。
张小强武欣王伟荣于瀛洁
关键词：计量学平面度平面光学元件
大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法
本发明公开一种大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法，装置包含数控机箱、主控计算机、被测件移动调整平台、动态干涉仪、干涉仪升降台、测量计算机。被测元件放置于被测件移动调整平台上，动态干涉仪安装在干涉仪升降台上，干涉...
武欣于瀛洁王伟荣张小强许海峰王驰
超精密磨削大口径光学元件平面度在位检测装置及方法
本发明公开一种超精密磨削大口径光学元件平面度在位检测装置及方法，包含计算机、动态干涉仪、主测量台架、x方向导轨、z方向导轨、台架导轨、隔离装置。本发明将大口径光学元件平面度误差的检测装置与磨床相结合，实现光学元件在位检测...
武欣于瀛洁王伟荣忻晓蔚张小强
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超精密磨削大口径光学元件平面度在位检测装置及方法
本发明公开一种超精密磨削大口径光学元件平面度在位检测装置及方法，包含计算机、动态干涉仪、主测量台架、x方向导轨、z方向导轨、台架导轨、隔离装置。本发明将大口径光学元件平面度误差的检测装置与磨床相结合，实现光学元件在位检测...
武欣于瀛洁王伟荣忻晓蔚张小强
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