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冯东辉

作品数:3 被引量:0H指数:0
供职机构:河南科技学院更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇温度数据
  • 3篇无线
  • 3篇无线传输
  • 3篇控制精度
  • 3篇化学机械抛光
  • 3篇机械抛光
  • 2篇收发
  • 2篇收发模块
  • 2篇无线模块
  • 2篇无线收发
  • 2篇无线收发模块
  • 1篇微处理器
  • 1篇基片
  • 1篇处理器

机构

  • 3篇河南科技学院

作者

  • 3篇马胜奇
  • 3篇陈艳锋
  • 3篇苏建修
  • 3篇王振玲
  • 3篇彭中华
  • 3篇冯东辉
  • 3篇吴浩
  • 3篇胡阳

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2014
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统
本发明公开了一种基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统。本发明的技术方案要点为:基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统,采用热电偶温度传感器对化学机械抛光过程中基片的温度进行监测,采用目前主流的ARMST...
苏建修马胜奇陈艳锋郭予新彭中华胡阳吴浩王振玲冯东辉
基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统
本发明公开了一种基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统。本发明的技术方案要点为:基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统,采用热电偶温度传感器对化学机械抛光过程中基片的温度进行监测,采用目前主流的ARM?S...
苏建修马胜奇陈艳锋郭予新彭中华胡阳吴浩王振玲冯东辉
文献传递
基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统
本实用新型公开了一种基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统。本实用新型的技术方案要点为:基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统,采用热电耦温度传感器对化学机械抛光过程中基片的温度进行监测,采用目前主流的A...
苏建修马胜奇陈艳锋郭予新彭中华胡阳吴浩王振玲冯东辉
文献传递
共1页<1>
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