2025年2月13日
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叶一舟
作品数:
34
被引量:3
H指数:1
供职机构:
东南大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
文化科学
一般工业技术
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合作作者
秦明
东南大学
黄庆安
东南大学
易真翔
东南大学
穆林
东南大学
王庆贺
东南大学
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敏度
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硅衬底
机构
34篇
东南大学
作者
34篇
叶一舟
31篇
秦明
25篇
黄庆安
10篇
易真翔
6篇
王庆贺
6篇
穆林
4篇
王芳
2篇
陈洁
2篇
陈蓓
2篇
杨佳伟
年份
1篇
2022
1篇
2020
2篇
2019
12篇
2018
6篇
2017
7篇
2016
4篇
2015
1篇
2014
共
34
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一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法
本发明公开了一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法,在热式风速传感器感风面设有两个加热部件,需要校准时,通过分别使加热部件工作,可以获取相对两个方向的温差信号,通过将这两个相反的温差信号取算术平均就可得到当前...
秦明
叶一舟
陈蓓
朱雁青
黄庆安
文献传递
一种无风洞虚拟热风速传感器测试装置
本发明公开了一种无风洞虚拟热风速传感器测试装置,采用精密温度控制的热探针给传感器表面直接加载温差信号以模拟实际风速的影响。本发明可方便地进行大批量热风速传感器测试数据的采集、分析与处理,显示与存储,从而为热风速传感器的自...
秦明
朱雁青
叶一舟
黄庆安
文献传递
一种电容式三维风速风向传感器
本发明公开了一种电容式三维风速风向传感器,所述传感器包括第一微柱、第二微柱、衬底、第一空气层、第二空气层、第一层金属极板单元、第二层金属极板单元和第三层金属极板单元;所述第一微柱连接在衬底的顶面,第二微柱连接在衬底的底面...
易真翔
叶一舟
高适萱
秦明
黄庆安
一种具有片上自标定功能的MEMS热式风速传感器
本发明公开了一种具有片上自标定功能的MEMS热式风速传感器,通过传感器封装表面的加热元件提供热温差信号代替风洞产生的温差信号,从而避免了传感器测量和标定必须在风洞环境下的问题。该传感器结构封装简单,测试成本极低,且可以在...
秦明
朱雁青
叶一舟
黄庆安
文献传递
一种高灵敏热式风速传感器及其封装方法
本发明提供了一种高灵敏热式风速传感器及其封装方法,该传感器包括薄层陶瓷(1)、陶瓷基板(2)、加热元件(3)、第一测温元件(41)和第二测温原件(42)、引线(5)、封装胶(6)、绑定线(7)和氧化硅纳米粉(8);薄层陶...
秦明
穆林
叶一舟
王庆贺
高磬雅
黄庆安
文献传递
一种测风传感器芯片结构及其制造方法
本发明公开了一种测风传感器芯片结构及其制造方法,利用聚合物的形状可塑特性形成与薄膜中心支撑体稳固嵌套的中心感风聚合物柱,再利用感风柱的摆动引起的薄膜应力造成的压敏电阻阻值的变化测量风速风向。所述感风柱不易与感压薄膜分离,...
秦明
王芳
姚玉瑾
杨佳伟
叶一舟
文献传递
一种高灵敏度宽量程力传感器及其制造方法
本发明公开了一种高灵敏度宽量程的力传感器及其制造方法,该传感器包括衬底(1),下层硅悬臂梁(2),上层硅薄膜(3),第一介质层(41)和第二介质层(42),第一压阻(51)和第二压阻(52),以及第一压阻(51)和第二压...
秦明
叶一舟
王芳
高磬雅
文献传递
一种磁悬浮式微机械开关
本发明公开了一种磁悬浮式微机械开关,包括玻璃衬底、螺旋线圈、悬浮结构体和硅层;硅层键合在玻璃衬底的顶面,硅层中设有空腔;螺旋线圈和悬浮结构体位于空腔中,螺旋线圈连接在玻璃衬底的顶面上,螺旋线圈的顶面设有一氧化硅层,悬浮结...
陈洁
叶一舟
文献传递
一种热式风速传感器及其封装方法
本发明提供了一种热式风速传感器及其封装方法,该传感器包括陶瓷基板(1)、薄层陶瓷(2)、加热元件(3)、第一测温元件(41)和第二测温元件(42)、引线焊盘(5)、氧化硅(6)、金属焊料(7)和底层密封盖板(8);陶瓷基...
秦明
叶一舟
穆林
王庆贺
黄庆安
文献传递
一种高灵敏度宽量程力传感器及其制造方法
本发明公开了一种高灵敏度宽量程的力传感器及其制造方法,该传感器包括衬底(1),下层硅悬臂梁(2),上层硅薄膜(3),第一介质层(41)和第二介质层(42),第一压阻(51)和第二压阻(52),以及第一压阻(51)和第二压...
秦明
叶一舟
王芳
高磬雅
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