张忠山
- 作品数：6 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院地质与地球物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金深部探测技术与实验研究专项更多>>
- 相关领域：电气工程理学电子电信更多>>
- 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺
- 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪，包括：测量体、上盖板及下盖板，所述测量体包括基座、耦合框、与耦合框相连接的质量块以及位于所述质量块中心的固定块；所述基座以及所述固定块与所述上盖板及所述下盖板相固定连接；所述质量块...
- 于连忠张忠山孙晨
- 文献传递
- 薄膜体声波谐振器性能分析
- 汤亮张忠山季磊栗新伟乔东海
- 关键词：薄膜体声波谐振器Q值氮化硅氧化硅复合膜
- 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺
- 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪，包括：测量体、上盖板及下盖板，所述测量体包括基座、耦合框、与耦合框相连接的质量块以及位于所述质量块中心的固定块；所述基座以及所述固定块与所述上盖板及所述下盖板相固定连接；所述质量块...
- 于连忠张忠山孙晨
- 文献传递
- 芯片级原子钟铯原子泡的微加工工艺制备
- 本文描述了一种用于芯片级原子钟的铯原子泡的微加工工艺制备方法。铯原子泡的整个制备过程包括硅的微加工工艺，以及玻璃和硅的静电键合技术。铯原子泡的空腔采用硅的湿法刻蚀工艺制备，体积可以减小到仅有几个立方毫米。金属铯通过移液器...
- 张忠山汤亮乔东海
- 关键词：微加工技术湿法刻蚀
- 气体比例对Mo电极上生长A1N薄膜的影响
- 张忠山汤亮季磊乔东海
- 关键词：ALN薄膜钼X射线衍射扫描电镜原子力显微镜
- 用于铯芯片级原子钟的4.596GHz射频源研制(英文)被引量：2
- 2015年
- 芯片级原子钟主要包括射频模块、物理封装模块以及其他的外围控制模块。射频模块的设计关系到芯片级原子钟的短期稳定度,所以射频模块在芯片级原子钟的设计时是非常重要的一部分。本文利用数字锁相环技术实现频率为4.596GHz的射频源,射频源由三部分组成,包括小数分频频率综合器、压控振荡器和环路滤波器。数字锁相环具有相位噪声低,频谱稳定度高等特点。此外,由于小数分频频率综合器是可编程的,可以通过配置N分频器与R分频器实现输出频率的快速扫描。与此同时,根据相关公式,可以计算出三阶无源环路滤波器的近似参数值,所设计的环路滤波器具有300kHz的环路带宽以及55°的相位裕度。最后,整个基于数字锁相环技术实现的射频源通过仿真、硬件实现以及测试。测试结果显示,射频源的相位噪声为-74.02dBc/Hz@300Hz,符合芯片级原子钟射频源的设计要求。
- 季磊汤亮张忠山
- 关键词：射频源环路滤波器压控振荡器锁相环
