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邹正中
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
庄婉如
中国科学院半导体研究所
高俊华
中国科学院半导体研究所
石志文
中国科学院半导体研究所
杨培生
中国科学院半导体研究所
孙富荣
中国科学院半导体研究所
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光子学报
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1996
1篇
1994
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一种全内反射半导体光波导开关
本实用新型公开了一种交叉型全内反射半导体光波导开关中的PIN结的结构,它在由半导体基底支撑的光波导I层上外延生长型号与基底材料相反的异型外延层,形成全部外延的PIN结的结构,并在异型外延层与光波导I层周边设置高电阻率的限...
庄婉如
杨培生
石志文
孙富荣
高俊华
段继宁
邹正中
文献传递
氧离子注入隔离的全内反射型光波导开关
1996年
研制了一种全内反射型InGaAsP/InP光波导开关。采用氧离子注入形成的高阻特性来作为载流予注入区的隔离。由此获得陡峭的反射面,改善了光开关的性能.在入射光波长为1.3um,注入电流为32mAT得到光开关反射端消光比为18dB,无注入时的关态串话为-19dB.
庄婉如
杨培生
孙富荣
石志文
段继宁
邹正中
高俊华
关键词:
光开关
离子注入
集成光学
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