孙宏君
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：江苏高校优势学科建设工程资助项目国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：机械工程化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于电化学腐蚀法的钨探针制备研究被引量：5
- 2015年
- 根据电化学腐蚀法的基本原理,研究了简单易操作的钨探针的制备方法,并设计了相应的装置。结果表明,在腐蚀溶液Na OH浓度2 mol/L,电压2 V的条件下,得到了尖端曲率半径约40 nm的钨探针,满足扫描隧道显微镜(STM)使用的需求。
- 孙宏君裘进浩季宏丽朱孔军陈远晟
- 关键词：扫描隧道显微镜探针电化学腐蚀曲率半径
- 基于迟滞非线性控制的导体微观表面检测技术
- 纳米技术在高性能材料的制备、微电子技术、生物技术以及航空航天技术等领域发挥着越来越重要的作用。要在纳米尺度上对材料及其结构进行研究，就必须要有高精度的微观表面检测技术及其设备，如扫描隧道显微镜（STM）。扫描器是微观表面...
- 孙宏君
- 关键词：扫描隧道显微镜信号采集
- 文献传递
- 扫描隧道显微镜扫描器的迟滞非线性控制被引量：2
- 2017年
- 压电驱动器被广泛应用于扫描隧道显微镜(scanning tunneling microscope,简称STM)的扫描器,但压电材料本身的迟滞非线性特性影响了STM的扫描精度。为了补偿由于迟滞非线性带来的扫描器控制误差,提高STM的扫描精度,基于迟滞非线性模型,设计了前馈控制器,并与PID反馈控制相结合。利用所设计的控制器进行了扫描实验,并与位移反馈控制扫描进行对比。实验结果表明,采用位移反馈控制时光栅周期相对测量误差和光栅线宽相对测量误差分别为4.41%和2.65%,采用迟滞逆模型与PID反馈的复合控制后,光栅周期相对测量误差和光栅线宽相对测量误差分别减小到1.26%和0.27%,迟滞引起的非线性误差得到了补偿,减小了扫描器控制误差,提高了扫描精度。
- 季宏丽孙宏君裘进浩陈远晟朱孔军
- 关键词：扫描隧道显微镜压电驱动器
- 一种基于迟滞模型的扫描探针显微镜扫描控制方法
- 本发明公开了一种基于迟滞模型的扫描探针显微镜扫描控制方法，该方法通过将迟滞逆模型控制应用于SPM的驱动器控制系统中，来补偿驱动器的迟滞；并且通过与PID反馈结合的复合控制，进一步提高定位精度。与传统的位移反馈控制方法相比...
- 季宏丽孙宏君裘进浩赵志洲陈远晟
- 文献传递
