- 电感耦合增强的单、双频容性耦合等离子体特性的研究
- 低温等离子体技术是一种重要的科学与工程技术，由于低气压的甚高频放电具有电子密度高和离子轰击能量低的特点，被广泛用于材料表面处理及其半导体刻蚀等。近年来，由于集成电路特征尺寸缩小和待处理基片表面积扩大，对材料处理均匀性提出...
- 张志辉
- 关键词：电子密度电子温度
- 文献传递
- 感性耦合对单、双频容性耦合氮气(掺H2/Ar)等离子体特性的影响
- 低温等离子体尤其是低气压射频激发的等离子体，因其具有高电子密度和低离子轰击能量的特点而被广泛用于薄膜生长、基片刻蚀和材料表面改性等应用领域。为此，人们相继开发了感性耦合等离子体以及甚高频激发的容性耦合等离子体源，以满足集...
- 张志辉
- 关键词：等离子体电子密度
- 文献传递
- 电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响
- 2015年
- 电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体。本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:1双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体;2电感(13.56 MHz)耦合等离子体;3电感(13.56 MHz)耦合增强的双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体。通过研究电感耦合放电对容性耦合放电的影响,以及电感耦合功率、混合气体比例等宏观参量对等离子体特性的影响,获得材料处理的最佳条件。实验发现当气压是5Pa时:1双频容性耦合等离子体密度是1010 cm-3左右,极板边缘处等离子体密度较低,中心处较高。随着氩气比例增加,等离子体密度提高,电子温度降低。2电感耦合等离子体放电,随着氩气比例增加,等离子体密度增大。当氩气比例增加到70%,等离子体密度发生数量级改变,高于双频容性耦合等离子体。3电感耦合增强的双频容性耦合等离子体密度较高,当氩气比例是80%,容性电感耦合功率200 W时,组合放电等离子体密度最高,均匀性较好,电子温度升高,径向差别不大。通过实验得出,当氩气比例为80%,容性高低频功率分别为150和50 W,电感耦合功率是200 W时,双频(60,13.56 MHz)与电感(13.56 MHz)组合放电可以获得高密度均匀的等离子体。
- 张志辉宁兆元
- 关键词：电感耦合等离子体离子密度电子温度
