杨贵玉
- 作品数：18 被引量：18H指数：3
- 供职机构：航天长征火箭技术有限公司更多>>
- 发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 一种圆膜式无线无源加速度传感器
- 本发明提供一种圆膜式无线无源加速度传感器，包括从下至上依次连接的圆膜结构、质量块、天线，连接在圆膜结构、质量块之间的信号转接板，声表面波谐振器，将信号转接板，声表面波谐振器连通的金属引线，将信号转接板与天线连通的射频线缆...
- 郝文昌 骆伟杨贵玉 梁栋 刘红 赵晶丽 刘铁钢
- 一种高阻抗晶体谐振器串联振荡电路及其调试方法
- 本发明一种高阻抗晶体谐振器串联振荡电路，包括C0补偿单元，与高阻抗晶体谐振器并联，用于实现对高阻抗晶体谐振器静态电容C0的补偿；I‑V转换电路，用于将流出高阻抗晶体谐振器的电流信号转换为电压信号；一个比较电路用于形成方波...
- 杨挺杨贵玉李庆丰陈艳王健金小锋
- 文献传递
- 一种MEMS谐振梁的热弹阻尼分析被引量：1
- 2009年
- 热弹阻尼是高Q值微结构器件能量耗散的主要机理,文中介绍解析理论评估热弹阻尼,但此理论只适用于简单模型。对于复杂模型的分析,采用数值计算方法。文中利用有限元分析方法评估一种MEMS谐振器中由于热弹阻尼引起的能量耗散,并考虑电极、材料特性等因素的影响。有限元计算结果与实际实验结果一致性良好,从而为高Q值MEMS谐振器的设计提供了有力的设计方法。
- 周建发杨贵玉
- 关键词：谐振品质因数MEMS
- 空间飞行器表面原子氧密度传感技术综述与设想
- 2009年
- 对空间飞行器表面原子氧密度测量技术研究现状进行了探讨,并提出了一种新颖的测量方法设想,单个传感器采用YSZ(氧化钇稳定的氧化锆yttria-stabilized zirconia YSZ)作为敏感材料,通过测量YSZ阻抗变化的方法进行原子氧的测量。同时采用已知原子氧腐蚀速率的材料锇一起暴露测量,实现了对YSZ原子氧传感器的在线标定。该方案能解决空间飞行器表面原子氧密度的长期测量和传感器标定困难的问题。
- 王鲜然杨贵玉周建发
- 关键词：原子氧YSZ氧化锆氧化钇
- 石英振梁加速度计微细加工工艺研究被引量：3
- 2009年
- 介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺。对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr-Au掩蔽薄膜的沉积工艺,从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素,提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中,强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性。并对其带来的影响进行了分析。
- 陈巍闫海杨贵玉陈圣广周建发向毅
- 关键词：振梁加速度计湿法腐蚀
- 用于石英MEMS晶片级封装的金金热压键合技术研究
- 提出了基于金金热压键合技术的石英MEMS晶片级封装方法,相比传统的金属管壳或玻璃浆料封装,具有可靠性高、气密性好、易于实现混合集成等优势。介绍了基于石英MEMS制备工艺中常用的Cr/Au膜层实现金金热压键合的工艺试验过程...
- 杨挺陈艳杨贵玉金小锋
- 关键词：晶片级封装
- 石英振梁加速度计静态输入输出特性研究
- 石英振梁加速度计是一种利用压电振梁作为敏感元件，直接频率输出的加速度计，广泛应用于战术级武器的制导、天线平台稳定系统等军用领域。通过平衡方程建立了一种石英振梁加速度计敏感元件的静力学模型，分别利用梁弯曲振动微分方程和有限...
- 杨挺杨贵玉李庆丰
- 关键词：有限元分析
- 石英振梁加速度计抗冲击性能研究
- 建立了石英振梁加速度计的力学模型,从理论上分析了其在半周正弦冲击载荷作用下的动态响应特性.通过有限元分析软件ANSYS分别对加速度计敏感结构在x,y,z三个方向的冲击响应特性与失效模式进行了预测.针对敏感结构在z向抗冲击...
- 杨挺杨贵玉孙苗苗
- 关键词：抗冲击性能有限元分析
- 文献传递
- 石英振梁加速度计静态输入输出特性被引量：10
- 2014年
- 通过平衡方程建立了一种石英振梁加速度计敏感元件的静力学模型,分别利用梁弯曲振动微分方程和有限元分析方法获得了敏感元件的输入加速度与输出频率之间的精确关系,从而从理论上获得了敏感元件的静态输入输出特性。通过离心试验对所设计的加速度计进行了标定,并与理论计算结果进行比对,最终认为理论计算能够准确的反映出石英振梁加速度计的静态输入输出特性。同时,该计算方法可以为其他包含振梁的传感器的设计提供依据。最后,提出了实测结果与理论计算存在偏差的原因:标度因数的偏差来源于振梁厚度的加工误差,非线性度的偏差来源于装配角度偏差以及外界温度变化引起的频率漂移等因素。
- 杨挺杨贵玉李庆丰
- 关键词：有限元分析
- 石英振梁加速度计微细加工工艺研究
- 介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺.对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr-Au掩蔽薄膜的沉积工艺,从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素,提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中,强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性....
- 陈巍闫海杨贵玉陈圣广周建发向毅
- 关键词：微细加工湿法腐蚀
- 文献传递
