您的位置： 专家智库 > >

魏培培

作品数：9 被引量：4H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 5篇机械工程
  • 4篇理学

主题

  • 9篇衍射
  • 9篇光栅
  • 8篇衍射光栅
  • 8篇迈克尔逊干涉...
  • 8篇干涉仪
  • 7篇读数头
  • 6篇光栅位移
  • 4篇双频激光
  • 4篇激光
  • 3篇多自由度
  • 2篇衍射强度
  • 2篇同时测量
  • 2篇拍频
  • 2篇分辨力
  • 2篇分光
  • 2篇超精
  • 2篇超精密
  • 1篇衍射特性
  • 1篇光栅结构

机构

  • 9篇哈尔滨工业大...

作者

  • 9篇魏培培
  • 8篇陆振刚
  • 8篇谭久彬

年份

  • 4篇2017
  • 5篇2015
共 9 条 记 录，以下是 1-9
全选 清除 导出
排序方式：
一种使用双频激光和衍射光栅的三维位移测量装置
一种使用双频激光和衍射光栅的三维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括双频激光光源、Z向干涉部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Y向探测部件、Z向探测部件、信...
谭久彬陆振刚魏培培
文献传递
一种使用双频激光和衍射光栅的三维位移测量装置
一种使用双频激光和衍射光栅的三维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括双频激光光源、Z向干涉部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Y向探测部件、Z向探测部件、信...
谭久彬陆振刚魏培培
基于双光栅干涉的三维位移测量技术研究
随着现代科学技术和工业生产的不断进步，微电子制造工业、半导体制造工业等对位移测量技术的维度与精度要求也愈来愈高。超精密位移测量技术已成为测量领域内的研究热点和现代工业中测量技术的一个重要发展方向。其中，光栅位移测量技术以...
魏培培
关键词：衍射特性光栅结构
一种使用双频激光和衍射光栅的二维位移测量装置
一种使用双频激光和衍射光栅的二维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括双频激光光源、Z向干涉部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Z向探测部件、信号处理部件；该...
谭久彬陆振刚魏培培
一种基于衍射光栅的二维位移测量装置
一种基于衍射光栅的二维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括光源、分光部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Z向探测部件、信号处理部件；该装置基于迈克尔逊干涉仪...
陆振刚谭久彬魏培培敬嘉雷
一种使用双频激光和衍射光栅的二维位移测量装置
一种使用双频激光和衍射光栅的二维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括双频激光光源、Z向干涉部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Z向探测部件、信号处理部件；该...
谭久彬陆振刚魏培培
文献传递
一种基于衍射光栅的二维位移测量装置
一种基于衍射光栅的二维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括光源、分光部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Z向探测部件、信号处理部件；该装置基于迈克尔逊干涉仪...
陆振刚谭久彬魏培培敬嘉雷
文献传递
一种基于衍射光栅的三维位移测量装置
一种基于衍射光栅的三维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括光源、分光部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Y向探测部件、Z向探测部件、信号处理部件；该装置基于...
陆振刚谭久彬魏培培
文献传递
一种基于衍射光栅的三维位移测量装置
一种基于衍射光栅的三维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括光源、分光部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Y向探测部件、Z向探测部件、信号处理部件；该装置基于...
陆振刚谭久彬魏培培
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0