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蒋志敏
作品数:
18
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华中科技大学
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相关领域:
理学
电子电信
文化科学
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合作作者
方海生
华中科技大学
王森
华中科技大学
刘胜
华中科技大学
张梦杰
华中科技大学
郑江
华中科技大学
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机构
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华中科技大学
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蒋志敏
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王森
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张之
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甘志银
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张舟
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张莹莹
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蔡轲
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2017
11篇
2015
共
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一种微向下提拉晶体生长炉
本发明公开了一种微向下提拉晶体生长炉,包括自上而下设置的上部绝热层和底部绝热层(13),底部绝热层(13)内还设置有观察孔(4),观察孔(4)呈管状,其中心轴线与底部绝热层(13)顶表面的法线的夹角为45°~60°;内层...
方海生
蒋志敏
刘胜
王梦莹
张舟
一种热场协调控制的提拉法晶体生长炉
本实用新型公开了一种热场协调控制的提拉法晶体生长炉,包括绝热外壳及设置在绝热外壳内的生长室,生长室设置有坩埚,绝热外壳的外部设置有用于对坩埚进行加热的主电磁感应线圈,主电磁感应线圈的下方设置有副电磁感应线圈,主电磁感应线...
方海生
王森
蒋志敏
王梦莹
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一种微向下提拉晶体生长炉
本发明公开了一种微向下提拉晶体生长炉,包括自上而下设置的上部绝热层和底部绝热层(13),底部绝热层(13)内还设置有观察孔(4),观察孔(4)呈管状,其中心轴线与底部绝热层(13)顶表面的法线的夹角为45°~60°;内层...
方海生
蒋志敏
刘胜
王梦莹
张舟
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一种用于MOCVD设备的喷淋头
一种用于MOCVD设备的喷淋头,属于气体喷淋装置,解决现有喷淋头存在的原料气体不能均匀混合的问题,同时减少在喷淋头顶部出现沉积堵塞喷口的问题。本实用新型包括底座、下隔板、上隔板、顶盖和中心导管,顶盖和底盖之间被隔成上层气...
张之
方海生
蒋志敏
郑江
刘胜
甘志银
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一种混合散热型热电制冷制热一体化装置
本实用新型公开了一种混合散热型热电制冷制热一体化装置,包括:内部具有存储空腔的装置本体,其外周设置有保温层,与本体外壁之间的间隙形成换热夹层,该夹层通过隔板被分为两个腔体,并分别与用于泵送换热液的泵连接;设置在本体外的第...
方海生
蒋志敏
张莹莹
赵超杰
蔡轲
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一种提拉法晶体生长炉
一种提拉法晶体生长炉,属于提拉法单晶生长装置,解决现有提拉法晶体生长炉内由于冷却气的非对称流动引起的不稳定性和熔体内包裹体杂质在晶体中聚集的问题。本发明包括炉体、基座、内隔热层、电磁感应加热器、炉盖、坩埚、坩埚盖和籽晶杆...
方海生
田俊
王森
蒋志敏
张梦杰
赵超杰
刘胜
一种用于MOCVD设备的喷淋头
一种用于MOCVD设备的喷淋头,属于气体喷淋装置,解决现有喷淋头存在的原料气体不能均匀混合的问题,同时减少在喷淋头顶部出现沉积堵塞喷口的问题。本发明包括底座、下隔板、上隔板、顶盖和中心导管,顶盖和底盖之间被隔成上层气腔、...
张之
方海生
蒋志敏
郑江
刘胜
甘志银
一种热场协调控制的提拉法晶体生长炉
本发明公开了一种热场协调控制的提拉法晶体生长炉,包括绝热外壳及设置在绝热外壳内的生长室,生长室设置有坩埚,绝热外壳的外部设置有用于对坩埚进行加热的主电磁感应线圈,主电磁感应线圈的下方设置有副电磁感应线圈,主电磁感应线圈和...
方海生
王森
蒋志敏
王梦莹
多晶硅铸锭炉的隔热块及包括该隔热块的多晶硅铸锭炉
本实用新型公开了一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块,设置在多晶硅铸锭炉的坩埚底部外周,用于坩埚加热或冷却多晶硅过程中的隔热保温,该隔热块为中空方形筒体结构,筒体筒壁为中空夹层结构,其中内壁用于包覆设置在坩埚底部的热交换块外周壁...
方海生
王森
蒋志敏
郑江
张梦杰
金泽林
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一种泡生法蓝宝石晶体生长炉
一种泡生法蓝宝石晶体生长炉,属于晶体生长装置,克服使用现有泡生法装置需要人工干预完成放肩过程的问题。本发明包括炉体、坩埚、坩埚盖、炉盖和籽晶杆,炉体内敷设有侧壁保温层和底部保温层,围绕炉体内的坩埚设置有侧面加热器和底部加...
方海生
蒋志敏
王森
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