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宁建华
作品数:
1
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供职机构:
航空航天部
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相关领域:
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合作作者
朱秉升
西安交通大学电子与信息工程学院...
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西安交通大学
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航空航天部
作者
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朱秉升
1篇
宁建华
传媒
1篇
宇航材料工艺
年份
1篇
1992
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超微粒SnO_2薄膜器件气敏特性的研究
1992年
本文介绍了作者采用半导体IC平面工艺技术,成功地研制出了超微粒SnO_2薄膜器件,并对该器件的氧气敏感特性作了研究,得到了该器件的主要特性参数。对其灵敏度特性曲线的研究表明:该器件不仅对低浓度氧气敏感,而且对高浓度氧气也敏感;并得到了超微粒SnO_2薄膜器件灵敏度特性所遵循的客观规律,即logR_s=0.72logC+0.85。
宁建华
朱秉升
关键词:
气体传感器
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