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李艳丽: 作品数：47 被引量：17H指数：2; 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>; 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>; 相关领域：理学机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

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基于原子层沉积技术的高精度多层膜X射线菲涅尔波带片的制备研究被引量：5: 2021年; 基于原子层沉积与聚焦离子束切割抛光相结合的工艺,提出了一种多层膜型波带片制备技术。利用耦合波理论计算出最外环宽为10 nm的Al2O3/HfO2、Al2O3/SiO2、Al2O3/Ir和Al2O3/Ta2O5四种材料组合的多层膜波带片在X射线能量为8 keV和15 keV时的菲涅尔波带片的理论衍射效率,讨论了最外环宽和波带片高度对衍射效率的影响,选择了Al2O3/HfO2为后续叠层制备。研究了原子层沉积制备Al2O3和HfO2薄膜的生长特性,验证了原子层沉积技术制备单层膜厚为10 nm叠层结构的可行性,实验结果表明,利用原子层沉积技术制备Al2O3和HfO2薄膜粗糙度可控在1 nm,均匀性优于±1.5%,单叠层厚度误差仅为0.416 nm.同时,利用聚焦离子束切割抛光技术得到了最外环宽为10 nm,高宽比200的高分辨率X射线菲涅尔波带片。; 吴鹿杰文庆涛高雅增卢维尔夏洋夏洋孔祥东李艳丽; 关键词：原子层沉积聚焦离子束高分辨率耦合波理论

一种调控X射线毛细管传输特性的方法: 一种调控X射线毛细管传输特性的方法，采用原子层沉积技术在毛细管内表面沉积一层厚度均匀的薄膜，通过对薄膜材料类型和厚度的控制，实现对X射线毛细管传输特性的调控。本发明可用于X射线显微成像和X射线荧光光谱分析等系统中，高效聚...; 孔祥东李艳丽姚广宇韩立; 文献传递

一种X射线波带片的制备方法: 本发明公开一种X射线波带片的制备方法，包括：将镀有X射线波带片多层膜结构的细丝固定于铜皮上，所述细丝的侧表面与所述铜皮接触；将所述铜皮固定于衬底上；将所述细丝和铜皮的一体结构切割成薄片；切割所述薄片的与衬底接触的部分，使...; 孔祥东姚广宇李艳丽韩立; 文献传递

一种用于X射线波带片的微细钨丝制备方法: 一种用于X射线波带片的微细钨丝制备方法，包括以下步骤：(1)对原料钨丝进行超声清洗，去除钨丝表面的油渍及杂质；(2)在真空环境中，采用电流加热法加热钨丝；(3)对加热后的钨丝进行电解抛光，通过控制抛光溶液的浓度，电解电压...; 门勇孔祥东李艳丽韩立; 文献传递

电子束退火法制备Li-N共掺杂多晶ZnO薄膜: 2018年; 为研究电子束退火对Li-N共掺杂Zn O薄膜性能的影响,首先利用溶胶-凝胶旋涂法在p型Si(111)衬底上制备Li-N共掺杂的Zn O前驱膜,然后用电子束对前驱膜进行退火。退火时,电子束加速电压10 k V,退火时间5 min,聚焦束流123 m A,束流为0.7~1.9 m A,最后得到Li-N共掺杂的Zn O薄膜。XRD谱分析表明,当束流高于1.5 m A之后,薄膜为六方Zn O和立方Zn O的混合多晶薄膜,且有金属Zn生成,导致薄膜有较强的绿光发射。SEM图片分析显示,薄膜的晶粒尺寸随束流增加而增大,当束流高于1.5 m A后,晶粒尺寸变化不大,约为60 nm。光致发光(PL)谱和激光拉曼谱的分析结果证实Li、N元素已掺入Zn O晶格中,PL谱中观察到Li元素掺杂引起的紫光发射,拉曼散射光谱中观察到N替代O位的缺陷振动模式。; 李艳丽李辉孔祥东李辉孔祥东; 关键词：掺杂多晶 ZNO薄膜

一种曲面光滑基底的制备方法: 本发明公开了一种曲面光滑基底的制备方法，涉及光滑基底制备技术领域，包括以下步骤：S1、确定原始基底的曲面形状和尺寸，在基座上加工出原始基底，在原始基底上设置多个通孔；S2、选择尺寸合适的单面抛光片，将单面抛光片置于原始基...; 李艳丽赵慧斌初明璋韩立

一种多层膜X射线微波带片的移动方法: 一种多层膜X射线微波带片的移动方法，将原子力显微镜探针安装在针架上，将针架安装在原子力显微镜上。取适量AB胶涂抹在一平整基片表面，将平整基片置于原子力显微镜样品台上。移动样品台，调整探针与AB胶的距离，使探针与AB胶不断...; 李艳丽孔祥东韩立; 文献传递

一种制备石墨烯的方法: 一种制备石墨烯的方法，具体步骤为：(1)将一定碳浓度的镍源沉积到衬底表面；(2)对得到的掺碳镍膜采用电子束热处理，退火温度为900～1400℃，退火时间为1～60s，之后取出样品即可在镍膜表面得到石墨烯。本发明可制备出单...; 许壮韩立高召顺孔祥东左婷婷刘俊标李艳丽门勇; 文献传递

基于严格耦合波理论的硬X射线菲涅耳波带片设计被引量：9: 2021年; 菲涅耳波带片(FZP)能实现光源聚焦,是硬X射线显微成像最重要的组成元件之一。分辨率与衍射效率是FZP最重要的两个参数,但在实际设计与制备中,两者往往难以同时兼顾。因此,提出了一种基于严格耦合波理论的硬X射线FZP设计方法。该方法在指定分辨率的基础上优化衍射效率,给出了硬X射线FZP组成材料、环带宽度、外径、厚度以及厚度控制精度等参数的优化值。同时考虑到材料色散的影响,给出了最优衍射效率随光源能量变化的分布情况,为显微成像中的光源选择提供了参考。; 高雅增吴鹿杰卢维尔刘虹遥刘虹遥赵丽莉夏洋孔祥东赵丽莉; 关键词：成像系统菲涅耳波带片分辨率衍射效率硬X射线

一种X射线光学元件的制备方法及系统: 本发明公开了一种X射线光学元件的制备方法及系统。该方法包括：确定多层膜的周期厚度；所述多层膜包括第一薄膜和第二薄膜；确定所述第一薄膜和所述第二薄膜的材料；根据反射率确定薄膜厚度比以及周期数；根据所述周期厚度以及所述薄膜厚...; 李艳丽孔祥东张新月韩立; 文献传递