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李宝增
作品数:
5
被引量:2
H指数:1
供职机构:
黑龙江大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
赵晓锋
黑龙江大学
温殿忠
黑龙江大学
吴亚林
中国电子科技集团公司
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作者
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李宝增
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温殿忠
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年份
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2018
3篇
2016
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三维磁场/三轴加速度/压力传感器集成化研究
本文给出基于MEMS技术设计的三维磁场/三轴加速度/压力多功能集成化传感器基本结构,其中三维磁场传感器由五只霍尔磁场传感器和磁场集中器构成,基于霍尔效应和磁场集中器原理,可实现三维磁场(B_x、B_y和B_z)测量;三轴...
李宝增
关键词:
MEMS技术
三轴加速度传感器
压力传感器
文献传递
纳米多晶硅薄膜电阻压力和加速度多功能传感器(英文)
被引量:1
2016年
基于纳米多晶硅薄膜电阻的多功能传感器由压力传感器和加速度传感器构成。纳米多晶硅薄膜电阻构成的两个惠斯通电桥结构分别设计在方形硅膜表面和悬臂梁根部。采用MEMS技术和CMOS工艺在〈100〉晶向单晶硅片上实现压力/加速度传感器芯片制作,利用内引线技术将芯片封装在一个印刷电路板(PCB)上。在室温下,工作电压为5.0V时,实验结果给出压力传感器灵敏度(a=0)为1.0mV/kPa,加速度传感器灵敏度(p=0)为0.92mV/g,可实现外加压力和加速度的测量,具有较好的灵敏度特性且交叉干扰较弱。
慕艾霖
赵晓锋
李宝增
温殿忠
吴亚林
关键词:
多功能传感器
压力传感器
加速度传感器
MEMS技术
CMOS工艺
一种压力/二维磁场单片集成传感器
本实用新型公开了一种压力/二维磁场单片集成传感器,该单片集成传感器包括第一磁敏二极管MD1、第二磁敏二极管MD2、第三磁敏二极管MD3、第四磁敏二极管MD4、第一压敏电阻R<Sub>1</Sub>、第二压敏电阻R<Sub...
赵晓锋
李宝增
温殿忠
文献传递
一种压力/二维磁场单片集成传感器
本发明公开了一种压力/磁场单片集成传感器,该单片集成传感器包括第一磁敏二极管MD1、第二磁敏二极管MD2、第三磁敏二极管MD3、第四磁敏二极管MD4、第一压敏电阻R<Sub>1</Sub>、第二压敏电阻R<Sub>2</...
赵晓锋
李宝增
温殿忠
文献传递
一种压力/二维磁场单片集成传感器
本发明公开了一种压力/磁场单片集成传感器,该单片集成传感器包括第一磁敏二极管MD1、第二磁敏二极管MD2、第三磁敏二极管MD3、第四磁敏二极管MD4、第一压敏电阻R<Sub>1</Sub>、第二压敏电阻R<Sub>2</...
赵晓锋
李宝增
温殿忠
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