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李朝勇
作品数:
4
被引量:6
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
林耀望
中国科学院半导体研究所
周增圻
中国科学院半导体研究所
牛智川
中国科学院半导体研究所
吴荣汉
中国科学院半导体研究所
王圩
中国科学院半导体研究所
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2篇
1995
1篇
1992
1篇
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射频溅射AIN膜的材料性能及其在光电器件上的应用研究
1990年
本文描述了采用JS-450D型射频溅射设备,在GaAs衬底上获得了AIN薄膜。对这种膜在H_2、N_2中不同温度下退火实验,分析了热处理对膜绝缘特性、腐蚀特性和光学特性的影响。利用AIN膜来保护光电器件、提高激光器和发光管的功率、降低激光器的阈值电流等作了工艺探讨。实验发现:利用端面镀膜技术,在LED前端面溅上一层AIN(厚为λ/4n,λ为LED发光波长,n是AIN膜的折射率)后,其P-I曲线明显地变化,发光管的功率平均提高了69%(I=100mA)。
李朝勇
郭良
余金中
关键词:
光电器件
溅射
GAAS
MBE生长轻掺Si高迁移率GaAs材料的杂质补偿特性研究
被引量:1
1995年
本文报道了用MBE生长轻掺Si高迁移率GaAs材料的杂质补偿特性实验研究.已得到77K温度下迁移率为16.2×104cm2/(V·s)的GaAs材料.样品的Hall测量结果表明:在较低的杂质浓度范围(1×1013cm-3<n<1×1015cm-3)内,在大体相同的生长温度(590℃左右)下,选择适当的生长速率Gr会增强对浅受主杂质的抑制作用,同时也会抑制Si的自补偿效应,减小杂质的补偿度Na/Nd之值,从而提高MBE外延GaAs材料的迁移率.
牛智川
周增圻
林耀望
李朝勇
关键词:
砷化镓
MBE生长
掺杂
迁移率
亚毫安室温连续工作InGaAs垂直腔面发射激光器
被引量:5
1995年
报道了InGaAs应变量子讲垂直腔面发射激光器(VCSEL)的室温连续工作。在MBE生长过程中利用红外高温仪测量了表观衬底热辐射振荡,实现了原位厚度监测;采用阶梯型分布布拉格反射器(DBR)及腐蚀倒台面结构,降低了器件串联电阻。对于2×3μm2的台面结构VCSEL,室温连续工作阈值电流一般为1.5mA,最低达到0.7mA,阈值电压为2.5伏,输出功率达到0.5mW,激射波长为0.94um,量子效率为12%。
吴荣汉
周增圻
林耀望
潘钟
黄永箴
李朝勇
牛智川
王圩
关键词:
垂直腔面发射
激光器
应变量子阱
CZNTD Si中氧碳对缺陷-杂质复合体行为的影响
1992年
本文研究了CZNTD Si中氧碳和缺陷-杂质复合体的热处理行为.分析了辐照和退火中的氧碳沉淀、缺陷-杂质复合体的形成、演变与施主的关系.确定了辐照施主是很少的,而主要是退火中形成的新施主,并且碳对这种施主起着强烈的促进作用.
张一心
李朝勇
李光平
何秀坤
卢存刚
李祖华
关键词:
辐照
退火
氧
碳
施主
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