薛鹏
- 作品数：64 被引量：53H指数：5
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目山西省青年科技研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 45°双驱动弹光调制高速椭偏测量方法被引量：1
- 2024年
- 为解决传统机械旋转补偿器型椭偏仪测量速度较慢问题,提出一种电驱动的双弹光调制的高速椭偏测量方法。通过理论分析并仿真研究45°双驱动弹光调制器工作在纯行波模式下的调制方式。结果发现,当双驱动弹光调制器工作在纯行波模式可实现快轴方向的高速周期性旋转,且相位延迟量为常量。结合椭偏原理,详细研究一种基于双驱动弹光调制的高速椭偏测量理论模型,结果表明,该模型光学周期<10μs,用于实际可真正实现超高速偏光调制。通过研究,有望解决半导体集成电路,微电子和光伏电池等生产过程中薄膜超高速检测难题,对薄膜在线检测、瞬态变化测量具有重要意义和学术价值。
- 薛鹏薛鹏谢大洋张瑞张瑞
- 关键词：厚度测量光弹性
- 基于弹光调制的椭偏测量驱动电路系统设计被引量：1
- 2024年
- 随着椭偏测量技术的发展,对椭偏测量速度、测量范围有了更高的要求。针对传统的双旋转补偿器测量方法受限于机械限制,调制频率低的问题。采用弹光调制技术,利用调制器的快轴旋转取代传统的旋转补偿器,设计了一种基于LC谐振放大的双驱动电路,利用现场可编程门阵列(FPGA)实现对弹光调制器(PEM)的高速驱动控制。根据弹光调制驱动控制要求对电路设计思路和方法进行了详细分析。通过仿真和实验结果表明,所设计的电路系统输出频率能稳定控制在60 kHz,幅值能达到430 VPP以上,满足PEM快轴高速稳定驱动的需求。
- 易进张瑞张瑞卜韩薛鹏李孟委
- 关键词：椭偏测量FPGA
- 静态干涉型高温温度场成像探测方法研究
- 2023年
- 为了实现航空航天发动机尾焰、燃烧、爆炸等高温温度场的非接触高精度测量,对静态干涉型高温温度场探测方法展开研究。首先,设计静态干涉型高温温度场探测系统,理论分析高温温度场测量原理,研究高温干涉信号强度最低点光程差与温度的关系;其次,针对常用温度范围及可见光面阵探测器的响应波段,设计静态干涉具Savart棱镜,结合一维扫描实现温度场成像;最后,设计光学系统,拟合获得干涉最弱光程差与温度的对应关系,并获得线性拟合公式,仿真验证温度场经过系统后到达面阵探测器的干涉信号图像。结果表明,该静态干涉型高温温度场探测方法可实现1000 K−3000 K温度的高精度探测,且在线性区域,温度测量分辨率为1.4 K,温度测量相对误差优于0.8%。本文研究为军民领域的高精度高温温度场成像提供参考。
- 张瑞徐承雨王志斌唐维平薛鹏薛鹏
- 关键词：温度分辨率
- AOTF相机成像过程中的图像畸变分析及校正研究被引量：5
- 2017年
- 针对声光可调谐滤波器(AOTF)自身固有的因声光互作用导致的成像畸变问题,利用AOTF的解析表达式和几何像差公式对AOTF相机的畸变特性进行分析,建立了声光互作用图像畸变模型,给出了各畸变系数随入射光传播角的变化关系;并在所构建畸变模型的基础上,结合两步标定法和双线性内插法对畸变图像进行校正分析。实验结果表明,未加AOTF相机系统拍摄图像的最大畸变像素位移量为1.6pixel,加AOTF相机系统拍摄图像的最大畸变像素位移量为9.0pixel,畸变校正后的最大畸变像素位移量为1.4pixel,优于未加AOTF相机系统所拍摄的图像。该畸变模型较好地描述了AOTF相机的畸变产生机理及特性,该方法可以有效地解决AOTF相机成像过程中的图像畸变问题,在AOTF光谱相机的精确测量方面将有较好的应用前景。
- 吕泽陈友华薛鹏王志斌陈媛媛
- 关键词：成像系统声光可调谐滤波器图像畸变模型可视化
- 一种基于弱相干光源干涉的镜片分析方法及装置
- 本发明属于镜片分析技术领域，具体涉及一种基于弱相干光源干涉的镜片分析方法及装置，包括红光LED光源、绿光LED光源、蓝光LED光源、蓝紫光LED光源、紫光LED光源、第一准真透镜、第二准直透镜、第三准直透镜、长焦聚焦透镜...
- 张瑞李学东王志斌薛鹏王耀利吴传超
- 一种基于差分技术的平衡光电探测器
- 本发明涉及新型光电探测技术领域，具体涉及一种基于差分技术的平衡光电探测器。包括光电转换电路，一级运算放大电路，二级运算放大电路以及供电电路；光电转换电路中包含有两个串联的光电二极管，两个光电二极管之间设置有接地电阻，以构...
- 吴传超薛鹏段宜亮王志斌张瑞
- 一种基于谐振式调制的位移测量精度提高方法及系统
- 本发明属于位移测量技术领域，具体涉及一种基于谐振式调制的位移测量精度提高方法及系统，包括下列步骤：计算光源经过整个系统到达光电探测器去掉直流信号的调制电信号，按第一类Bessel函数展开；谐振式位移振动器调制频率为参考信...
- 张瑞王志斌解琨阳薛鹏王耀利
- 基于傅里叶红外光谱分光的椭偏薄膜测量技术
- 2025年
- 随着半导体集成电路、平板显示、光伏太阳能等技术的发展,在红外波段具有优良光学特性的薄膜材料被广泛应用,而薄膜厚度的高精度测量将直接对器件的加工质量产生影响。光谱椭偏技术是一种非接触式、高精度的薄膜测量技术,是其检测的最好手段。但现有光谱椭偏仪主要集中在可见-近红外波段,无法满足中红外光学薄膜的测量要求。为此,提出一种采用傅里叶光谱分光模式和多方位补偿器相结合的红外光谱椭偏薄膜测量技术。结合椭偏测量理论,通过搭建傅里叶红外光谱椭偏仪实现2100~3200nm波段范围内不同厚度Si基SiO_(2)标准薄膜样品的测量。结果显示,薄膜厚度测量精度优于±0.5nm,重复性测量精度优于0.07nm,全谱段单次单点测量时间约1min。
- 吴传超吴传超张治祥张佳莹薛鹏薛鹏
- 一种机械热压成形扁平状塑料光纤SPR折射率传感器
- 本发明属于光纤传感器技术领域，具体涉及一种机械热压成形扁平状塑料光纤SPR折射率传感器，包括扁平状塑料光纤SPR传感探头、复色光源、第一光纤跳线、第二光纤跳线、光纤光谱仪、数据采集处理系统，所述扁平状塑料光纤SPR传感探...
- 薛鹏徐跃张瑞李孟委
- 文献传递
- 一种基于参考光路光谱椭偏技术的在线镀膜检测装置
- 本发明属于在线镀膜检测技术领域，具体涉及一种基于参考光路光谱椭偏技术的在线镀膜检测装置，包括光源、起偏臂、第一可移动反射镜、镀膜箱、被镀薄膜、被镀薄膜衬底、第二可移动反射镜、检偏器和探测器，所述光源的光路方向上设置有起偏...
- 崔敏张瑞薛鹏杨帅王志斌李孟委
