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李慧梅
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
于海龙
中国科学院半导体研究所
李晓敏
中国科学院半导体研究所
徐云
中国科学院半导体研究所
宋国峰
中国科学院半导体研究所
胡晓斌
中国科学院半导体研究所
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2016
1篇
2015
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In_(0.53)Ga_(0.47)As/In_(0.52)Al_(0.48)As雪崩光电二极管的数值模拟研究
被引量:1
2016年
建立了SACM型In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As雪崩光电二极管(APD)的分析模型,通过数值研究和理论分析设计出高性能的In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As APD。器件设计中,一方面添加了In0.52Al0.48As势垒层来阻挡接触层的少数载流子的扩散,进而减小暗电流的产生;另一方面,雪崩倍增区采用双层掺杂结构设计,优化了器件倍增区的电场梯度分布。最后,利用ATLAS软件较系统地研究并分析了雪崩倍增层、电荷层以及吸收层的掺杂水平和厚度对器件电场分布、击穿电压、IV特性和直流增益的影响。优化后APD的单位增益可以达到0.9 A/W,在工作电压(0.9 Vb)下增益为23.4,工作暗电流也仅是纳安级别(@0.9 Vb)。由于In0.52Al0.48As材料的电子与空穴的碰撞离化率比In P材料的差异更大,因此器件的噪声因子也较低。
李慧梅
胡晓斌
白霖
李晓敏
于海龙
徐云
宋国峰
关键词:
暗电流
图像应用
一种高响应度雪崩光电二极管制备方法
本发明公开了一种垂直型雪崩光电二极管及其制备方法。所述雪崩光电二极管的制备方法包括:刻蚀垂直台面至In<Sub>0.53</Sub>Ga<Sub>0.47</Sub>As牺牲层;钝化台面侧壁及上表面;腐蚀去除In<Sub...
陈良惠
李慧梅
李晓敏
李健
于海龙
宋国峰
徐云
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