徐乐
- 作品数：13 被引量：16H指数：2
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学化学工程电子电信更多>>
- 一种光学自由曲面磨削成型方法
- 本发明公开了一种光学自由曲面磨削成型方法，采用数控磨削加工中心与球形砂轮进行磨削成型，S1：将设计的目标曲面采用点云矩阵进行描述，得点云设计矩阵M<Sub>design</Sub>；S2：依据所述点云设计矩阵M<Sub>...
- 代雷崔庆龙徐乐隋永新杨怀江闫丰
- 文献传递
- 计算全息图案位置误差致波前误差的标定方法被引量：1
- 2023年
- 通过对计算全息图检测非球面的误差进行分析,提出了一种用于计算全息图检测非球面过程中图案位置误差引入的波前误差的标定方法。该方法先设计检测过程中所需要的辅助波前和检测波前在计算全息基板上所对应的相位分布,再通过光场叠加的方式得到复合相位。辅助波前用于计算实际位置与设计位置的偏差,进而计算出位置畸变引起的检测误差,并将其从系统中消除。检测波前用于得到与非球面匹配的波前,进而对非球面面形进行检测,并提出了图案位置误差引入的非球面波前差的计算方法。为评估该方法的可行性,将复合相位所对应的计算全息图导入衍射计算软件中进行仿真,同时得到了平面、球面和非球面各个级次的衍射光斑,证明了该方法的正确性。
- 张海涛张海涛徐乐
- 关键词：光学设计非球面计算全息
- 高精度非回转对称非球面加工方法研究被引量：13
- 2016年
- 本文提出一种高精度非回转对称非球面加工方法。首先,通过范成法铣磨出非回转对称非球面的最佳拟合球;然后,利用古典抛光修正小磨头确定抛光难以修正的中频误差;最后,利用高精度气囊抛光设备(IRP)精确对位精修面形,在不引入额外中频误差条件下,通过高精度对位检测技术实现非回转对称非球面高精度加工。将该方法应用于定点曲率半径为970.737 mm、k=-1、口径为106 mm三次非球面加工,降低了加工难度,提高了加工精度,面形误差收敛到1/30λ(RMS)。实验结果验证了本文加工方法的正确性和可行性,对高精度非回转对称非球面加工具有一定的指导意义。
- 徐乐张春雷代雷张健
- 关键词：非球面气囊抛光IRP抛光
- 一种光学元件粗糙度在线检测系统
- 本发明涉及一种光学元件粗糙度在线检测系统，包括一个可沿笛卡尔坐标系的X、Y及Z轴方向运动的检测本体；检测本体上设有一个绕第一支点摆动的第一摆动轴，在检测本体的任一运动位置上，第一摆动轴的摆动面与笛卡尔坐标系的XOZ面平行...
- 张春雷刘健王绍治徐乐隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种复眼照明系统的匹配方法
- 本发明提供一种复眼照明系统的匹配方法，包括配置有光阑复眼的光阑复眼基板和配置有视场复眼的视场复眼基板，包括：获取每种照明模式下可用光阑复眼的位置，获取所述可用光阑复眼与视场复眼的最优组合，以及获得所述最优组合时所述可用光...
- 徐乐王丽萍吴越张旭
- 文献传递
- 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工被引量：2
- 2016年
- 考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动范围、压力等加工工艺参数,并使用硅溶胶溶液抛光进一步降低CaF_2元件的高频误差,逐渐去除加工中产生的划痕并且获得极小中频误差(Zernike残差)和高频粗糙度。最后,在不改变CaF_2元件高频误差的同时利用离子束加工精修元件面形。对100mm口径氟化钙材料平面进行了加工和测试。结果表明:其Zernike 37项拟合面形误差RMS值可达0.39nm,Zernike残差RMS值为0.43nm,高频粗糙度均值为0.31nm,实现了对CaF_2元件的亚纳米精度加工,为研发高性能深紫外投影光刻物镜奠定了良好基础。
- 张春雷徐乐刘健马占龙王飞谷永强代雷彭石军
- 关键词：氟化钙投影光刻物镜
- 一种光学元件粗糙度在线检测系统
- 本发明涉及一种光学元件粗糙度在线检测系统，包括一个可沿笛卡尔坐标系的X、Y及Z轴方向运动的检测本体；检测本体上设有一个绕第一支点摆动的第一摆动轴，在检测本体的任一运动位置上，第一摆动轴的摆动面与笛卡尔坐标系的XOZ面平行...
- 张春雷刘健王绍治徐乐隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种反射式积分照明系统中复眼匹配方法
- 本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种反射式积分照明系统中复眼匹配方法；本发明先形成PF‑FF匹配矩阵再编码成精确覆盖矩阵，再形成一个虚光阑复眼阵列，计算出视场复眼阵列与虚光阑复眼阵列的最优匹配，再结合精确覆盖矩阵计算出视...
- 徐乐王丽萍吴越张旭
- 文献传递
- 用于抛光超大偏离度非球面的类气囊磨头
- 用于抛光超大偏离度非球面的类气囊磨头，涉及光学冷加工技术领域，解决现有技术中存在的抛光磨头与毫米量级超大偏离度非球面工件表面不匹配的问题。包括抛光模、抛光气囊帽、特殊弹性材料、气囊骨架、磨头底座、高度调节板、高度调节螺丝...
- 张健徐乐马占龙代雷隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种非旋转对称非球面的加工方法
- 一种非旋转对称非球面加工方法，属于光学加工领域，为了解决一般非对称加工方法带来的高低效率，高中频误差，低面形质量的问题，第一步，加工非球面的拟合球部分，利用铣磨开型出非旋转对称非球面的最佳拟合球，而后通过气囊抛光去除铣磨...
- 徐乐张春雷代雷张健隋永新杨怀江
- 文献传递
