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文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇烯丙基
  • 1篇金刚烷
  • 1篇甲酯
  • 1篇二酸
  • 1篇丙二酸
  • 1篇丙基

机构

  • 1篇郑州大学

作者

  • 1篇李铁生
  • 1篇赵龚
  • 1篇许文俭
  • 1篇吴养洁
  • 1篇李洋
  • 1篇朱秋萍
  • 1篇李永娜

年份

  • 1篇2012
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
烯丙基丙二酸二金刚烷甲酯类聚合物LB膜的制备及其性质
<正>深紫外(DUV)光刻可得到较高分辨率的图像,且造价便宜,容易普及,实用于工业生产等特点,而光刻胶是光刻的核心要素,因此针对光刻胶的研发现状,我们设计并合成了一类新型'燕尾形'丙二酸二金刚烷甲酯类光致抗蚀剂材料(Sc...
赵龚朱秋萍李永娜李洋李铁生许文俭吴养洁
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共1页<1>
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