陈家宜
- 作品数：4 被引量：14H指数：2
- 供职机构：汕头大学理学院物理系更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 非晶硅液晶光阀
- 1994年
- 本文介绍反射式非晶硅液晶光阀的研制方法，并对其光电性能进行了研究，提出非晶硅液晶光阀的参数设计模型。
- 符史流林揆训林璇英王洪陈家宜余云鹏
- 关键词：非晶硅液晶光阀
- 用动态变化的电子束蒸发工艺制备优质ITO透明导电膜
- 1引言铟锡氧化物(ITO)薄膜导电性好,透光率高,性能稳定,是制备透明电极和抗反射复盖膜的优良材料,广泛应用于电致发光、液晶显示、太阳能电池、微波保护等各种类型的光电显示和光敏性器件。
- 林揆训林璇英符史流陈家宜
- 文献传递
- 用动态变化的电子束蒸发工艺制备优质ITO透明导电膜被引量：5
- 1993年
- 在分析用电子束蒸发制备铟锡氧化物(ITO)透明导电膜的静态工艺流程的基础上,提出了多种参数同步变化的动态工艺流程。用这种新颖的工艺流程制备了优质的ITO透明导电膜,方块电阻为5Ω时,透光率大于90％,并对静态、动态和退火工艺的实验结果进行了综合分析。实验结果和理论分析表明,动态变化的电子束蒸发工艺是制备优质ITO透明导电膜的有效方法。
- 林揆训林璇英符史流陈家宜
- 关键词：铟锡氧化物透明导电膜电子束
- 高速沉积非晶硅氢合金薄膜的研究被引量：9
- 1992年
- 在一个等离子体化学气相沉积(PCVD)系统中,用射频辉光放电分解纯硅烷,通过控制和选择工艺条件,可以制备速率大于1.0nm/s,光敏性大于10~5的优质非晶硅氢合金薄膜。
- 林璇英林揆训余云鹏曾旭陈家宜王洪吴萍
- 关键词：沉积速率光敏性
