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张旭
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供职机构:
高功率激光物理国家实验室
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一般工业技术
化学工程
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合作作者
沈斌
高功率激光物理国家实验室
李海元
高功率激光物理国家实验室
唐永兴
高功率激光物理国家实验室
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溶胶-凝胶SiO2减反膜疏水性研究(英文)
2012年
采用甲基三乙氧基硅烷(MTES)为部分前驱体制备了具有高疏水性溶胶-凝胶SiO_2减反膜。SiO_2溶胶以正硅酸乙酯(TEOS)和甲基三乙氧基硅烷为前驱体,在氨水的催化条件下水解制备。当甲基三乙氧基硅烷在前驱体中的质量分数超过20%时,膜层具有高疏水稳定性。改性膜层的折射率随甲基三乙氧基硅烷含量增高而下降。制备的含30%MTES的疏水减反膜具有较小的表面粗糙度(RMS:3.575nm)和较高的激光损伤阈值(15.64.J/cm^2,355 nm/12ns)。
李海元
沈斌
张旭
唐永兴
关键词:
溶胶-凝胶
疏水性
甲基三乙氧基硅烷
溶胶-凝胶多孔性SiO2改性膜层性能研究
应用于高功率激光装置的溶胶-凝胶多孔性SiO膜层具有优异的光学性能和高的激光损伤性能[1,2]。膜层具有多孔性结构,易吸附使用环境中产生的杂质颗粒和真空油脂等而受到污染。改性膜层,提高膜层的光学性能和激光损伤性能稳定性的...
李海元
沈斌
张旭
唐永兴
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