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孙振源

作品数：14 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电气工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 11篇电化学
  • 9篇电极
  • 9篇检波
  • 9篇检波器
  • 7篇地震检波器
  • 5篇加速度
  • 5篇加速度计
  • 4篇阴阳
  • 4篇复合电极
  • 3篇单片
  • 3篇电解质溶液
  • 3篇灵敏度
  • 3篇敏度
  • 3篇绝缘
  • 3篇间隔层
  • 2篇电极表面
  • 2篇电解液
  • 2篇阳极
  • 2篇一体化
  • 2篇阴极

机构

  • 14篇中国科学院电...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 14篇陈德勇
  • 14篇王军波
  • 14篇陈健
  • 14篇李光磊
  • 14篇孙振源
  • 7篇邓涛
  • 7篇陈连宏
  • 3篇张正宇

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 3篇2018
  • 4篇2017
  • 4篇2016
  • 1篇2015
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
电化学加速度计、将热敏电阻集成在电极中的方法
本发明提供了一种基于集成式热敏电阻的电化学加速度计及将热敏电阻集成在电极中的方法，电化学加速度计包括热敏电阻和放大电路，热敏电阻集成在电极上，其阻值随电极温度变化而变化；放大电路根据热敏电阻的阻值，对输出电压进行补偿。本...
王军波邓涛陈德勇陈健孙振源李光磊
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单片复合敏感电极的制造方法、基于其的敏感器件
本发明公开了单片复合敏感电极的制造方法，还公开了基于该单片复合敏感电极的电化学加速度计敏感核心。本发明单片复合敏感电极基于硅片进行制作，加工完成后该硅片具有阳极面和阴极面，所述阳极面设有阳极，所述阴极面设有阴极。电化学加...
陈德勇邓涛王军波陈健李光磊孙振源
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基于柔性微电极的高灵敏度MEMS电化学地震检波器被引量：1
2018年
为了进一步降低微机电系统(MEMS)电化学地震检波器敏感电极的加工成本,提升传感器的灵敏度,推动其在地球物理勘探等领域的发展,提出了一种基于柔性微电极结构的新型MEMS电化学地震检波器。与基于硅衬底制作敏感电极相比,敏感电极的制作方法可以通过有效减小电极间距,大幅度提升传感器的灵敏度,大幅降低工艺成本。介绍了柔性微电极的加工工艺流程,并对传感器的性能进行了测试。结果表明:提出的地震检波器较基于硅衬底微电极器件灵敏度提高了一个数量级。
孙振源李光磊李光磊陈健陈连宏王军波
关键词：微机电系统高灵敏度
电化学地震检波器敏感电极及其制备方法
本发明提供了一种电化学地震检波器敏感电极，包括：一支撑基板，所述支撑基板的材料为有机绝缘体，支撑基板中设置有至少一个支撑基板通孔；以及两个电极层，分别覆盖于所述支撑基板的上表面和下表面，所述两个电极层中分别设置有至少一个...
陈德勇孙振源王军波陈健李光磊陈连宏
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集成式复合敏感电极及其制造方法
一种集成式复合敏感电极及其制造方法，该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成，每层复合电极集成间隔层与电极层，电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道；该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造，不仅可以...
陈德勇邓涛王军波陈健张正宇孙振源李光磊
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电化学微震检波器
本发明提供了一种电化学微震检波器，包括：惯性摆体，其内形成电解液空间，该电解液空间内充有电解液；敏感电极，固定于电解液空间的电解液中，用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号；信号处理电路，其输入端电性连接至敏感电极，用...
王军波李光磊陈德勇陈健孙振源陈连宏
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电化学地震检波器敏感电极及其制备方法
本发明提供了一种电化学地震检波器敏感电极，包括：一支撑基板，所述支撑基板的材料为有机绝缘体，支撑基板中设置有至少一个支撑基板通孔；以及两个电极层，分别覆盖于所述支撑基板的上表面和下表面，所述两个电极层中分别设置有至少一个...
陈德勇孙振源王军波陈健李光磊陈连宏
MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法
本发明提供了一种MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法，该电极芯片包括一个支撑基板、在该支撑基板的至少一个表面依次排列的N层电极层和位于相邻两个电极层之间的N?1层绝缘间隔层，M个电极层通孔(31)、M个绝缘间...
陈德勇孙振源王军波陈健邓涛李光磊
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一体化三轴电化学地震检波器及其检测方法
本发明提供了一种一体化三轴电化学地震检波器，包括：外壳，其具有至少三个上下贯穿的流道；弹性膜，分别覆盖外壳的上、下端，与外壳一起形成一密闭的空间；敏感单元，分别设置在至少三个上下贯穿的流道中；电解质溶液，密封在由外壳、弹...
陈德勇孙振源陈连宏李光磊王军波陈健
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电化学微震检波器
本发明提供了一种电化学微震检波器，包括：惯性摆体，其内形成电解液空间，该电解液空间内充有电解液；敏感电极，固定于电解液空间的电解液中，用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号；信号处理电路，其输入端电性连接至敏感电极，用...
王军波李光磊陈德勇陈健孙振源陈连宏
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