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仲仁

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇微悬臂梁
  • 3篇埋氧层
  • 2篇应力
  • 2篇应力分析
  • 2篇内应力
  • 2篇仿真
  • 2篇ANSYS仿...
  • 1篇悬壁
  • 1篇悬壁梁
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 3篇中国科学技术...

作者

  • 3篇仲仁
  • 1篇褚家如
  • 1篇赵钢
  • 1篇刘光丽
  • 1篇刘杰
  • 1篇陈建锋

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 3篇2016
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
埋氧层应力对微悬壁梁加工断裂的影响机理研究
最近几年以来，基于SOI硅片的微纳加工技术——尤其在高灵敏度微悬臂梁传感器制作领域，已经得到了越来越多的研究。为了在SOI片上获得更长更薄的悬臂梁结构，体硅层的刻蚀工艺在悬臂梁制作时的背面释放过程中就显得极为重要。但由于...
仲仁
关键词：微悬臂梁埋氧层传感器
文献传递
埋氧层应力对微悬臂梁加工断裂的影响机理研究
最近几年以来,基于SOI硅片的微纳加工技术——尤其在高灵敏度微悬臂梁传感器制作领域,已经得到了越来越多的研究。为了在SOI片上获得更长更薄的悬臂梁结构,体硅层的刻蚀工艺在悬臂梁制作时的背面释放过程中就显得极为重要。但由于...
仲仁
关键词：微悬臂梁ANSYS仿真
文献传递
埋氧层内应力对微悬臂梁加工断裂的影响机理研究
2016年
研究了在Smart-cut方法下制作的SOI硅片中热应力产生的来源,以及热应力的分布、数值和范围。对微悬臂梁制作过程的几个阶段进行了建模,通过仿真,探讨了不同热应力对微悬臂梁制作过程产生的影响,并在ANSYS软件中对优化的加工工艺可行性的仿真和制作时断裂现象进行了验证。研究了SOI中埋氧层内应力影响微纳加工工艺的机理,特别针对内应力使微悬臂梁制备产率下降的副作用进行了分析。研究结果在基于SOI制造的微传感器领域中具有重要的作用。
仲仁赵钢陈建锋刘光丽刘杰褚家如
关键词：MEMS微悬臂梁ANSYS仿真
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