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杨恒昭

作品数：6 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇热电堆
  • 4篇微机械
  • 4篇红外
  • 3篇微机械热电堆
  • 3篇刻蚀
  • 3篇红外吸收
  • 3篇干法刻蚀
  • 2篇单片
  • 2篇单片集成
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇探测器
  • 2篇工作气体
  • 2篇红外探测
  • 1篇低频噪声
  • 1篇自对准
  • 1篇微结构
  • 1篇红外探测器
  • 1篇红外探测系统
  • 1篇N-MOSF...
  • 1篇CMOS工艺

机构

  • 5篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 6篇杨恒昭
  • 5篇熊斌
  • 5篇王跃林
  • 3篇李铁
  • 2篇徐德辉
  • 2篇王翊
  • 1篇刘米丰

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 2篇2009
  • 3篇2008
  • 1篇2007
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
CMOS兼容的干法刻蚀释放热电堆红外探测器
作为传统的红外探测器,非制冷型的热电堆探测器由于其结构简单、尺寸较小、成本较低等特点而被广泛应用。采用微机械手段加工的MEMS热电堆探测器可以充分利用CMOS工艺实现与信号处理电路的单片集成,从而进一步提高性能降低成本。...
杨恒昭
关键词：N-MOSFET单片集成
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CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器被引量：3
2008年
提出了一种CMOS工艺兼容的、并采用xeF2气体干法刻蚀工艺释放的热电堆红外探测器。探测器包括硅基体、框架、热电堆、支撑臂、红外吸收层、刻蚀开口等。作为红外吸收层的氧化硅／氮化硅复合介质膜具有多种形状的腐蚀开口，使用各向同性的干法刻蚀从正面刻蚀衬底释放器件。探测器尺寸为2mm×2mm，由20对多晶硅-铝热电偶组成，串联电阻16～18kΩ。释放后的器件特性响应率13-15V／W，探测率（1．85～2．15）×10^7cmHz^1/2／W，时间常数20-25ms。
杨恒昭熊斌李铁王跃林
关键词：热电堆红外探测器干法刻蚀
集成微机械热电堆红外探测系统及其制作方法
本发明涉及一种集成微机械热电堆红外探测系统及制作方法，所述的系统包括热电堆探测器和信号处理电路两大部分。其中信号处理电路包括前置放大器，带通滤波器，主放大器和振荡器四部分。特征在于实现了热电堆探测器和信号处理电路的单片集...
熊斌杨恒昭徐德辉刘米丰王跃林
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微机械热电堆红外探测器及其制作方法
本发明涉及微机械红外热电堆探测器结构及其制作方法，其特征在于作为红外吸收层的悬浮膜结构具有多种形状的腐蚀开口，使用各向同性的干法刻蚀从正面腐蚀衬底形成悬浮膜结构释放器件。探测器的衬底和悬浮于框架中间的红外吸收层分别构成热...
熊斌杨恒昭李铁王翊王跃林
文献传递
自对准制作微结构的方法及其制作的红外热电堆探测器
本发明涉及一种自对准制作微结构的方法及其制作的微机械热电堆红外探测器，特征在于利用多晶硅条的自对准刻蚀下面的介质层形成热电堆，使用各向同性的干法刻蚀腐蚀硅衬底释放结构。热电堆可成悬臂梁直接悬空于衬底上。工艺步骤包括复合介...
熊斌杨恒昭徐德辉王跃林
文献传递
微机械热电堆红外探测器及其制作方法
本发明涉及微机械红外热电堆探测器结构及其制作方法，其特征在于作为红外吸收层的悬浮膜结构具有多种形状的腐蚀开口，使用各向同性的干法刻蚀从正面腐蚀衬底形成悬浮膜结构释放器件。探测器的衬底和悬浮于框架中间的红外吸收层分别构成热...
熊斌杨恒昭李铁王翊王跃林
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