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王学思
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1
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电子工业部
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相关领域:
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合作作者
尹田华
电子工业部
李时俊
电子工业部
张伟
电子工业部
刘湘德
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尹田华
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1篇
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LC-11型砷化镓专用强流离子注入机
刘湘德
李时俊
尹田华
王学思
张伟
LC-11型砷化镓专用强流离子注入机是电子工业部第四十八研究所于1996年研制成功的新型离子注入机。该机于1998年元月通过部级鉴定,是我国自行研制成功的第一台真正实用的强流离子注入机。其主要技术指标达到国外先进国家同类...
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离子注入机
砷化镓
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