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王增福

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：中国空间技术研究院更多>>
相关领域：一般工业技术化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜设备
  • 1篇离子镀
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇中国空间技术...

作者

  • 1篇陈步亮
  • 1篇张再鸣
  • 1篇王增福
  • 1篇李然
  • 1篇范斌

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多层复合真空离子镀膜技术的新发展被引量：7
2002年
本文回顾了多弧——磁控溅射多功能离子镀膜设备的结构和功能 ,并且对该设备在氮化钛掺金离子镀 (IPG)方面的典型应用 ,做了较为详细的膜层性能分析。同时 ,本文又对近年来一种新型的多功能离子镀设备——复合式离子镀膜设备的结构及特点做了介绍 ,给出了该类型设备的典型应用场合 ,并且向读者介绍了使用该设备镀制的金属 /金属陶瓷多层膜的优异性能。
王增福陈步亮范斌张再鸣李然
关键词：离子镀磁控溅射镀膜设备
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