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杨运峰

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 4篇电子束
  • 4篇图案
  • 4篇光刻
  • 4篇半导体
  • 4篇半导体制造
  • 2篇平面化
  • 2篇奇数
  • 2篇全局最优
  • 2篇全局最优解
  • 2篇最优解
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇光刻工艺
  • 1篇电路
  • 1篇电路技术
  • 1篇时钟
  • 1篇时钟周期
  • 1篇配置点
  • 1篇可调
  • 1篇集成电路

机构

  • 5篇复旦大学

作者

  • 5篇周海
  • 5篇曾璇
  • 5篇杨运峰
  • 4篇严昌浩
  • 4篇陆伟成
  • 1篇朱恒亮
  • 1篇杨帆

年份

  • 2篇2020
  • 3篇2016
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
用于带后硅可调寄存器电路的统计时序分析方法
本发明属于集成电路技术领域，具体涉及一种用于带后硅可调寄存器电路的统计时序分析方法。所述方法包括：主元压缩得到N个独立随机变量；生成稀疏网格配置点；计算每个配置点的最小时钟周期；计算最小时钟周期广义多项式混沌展开系数；计...
曾璇杨帆朱恒亮周海杨运峰周星宝
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一种电子束和多重图案光刻混合工艺版图图案分解方法
本发明属于集成电路半导体制造技术领域，涉及一种电子束和多重图案光刻混合工艺中版图图案分解方法，该方法将最小化电子束使用面积和缝合点数目的版图图案分解问题表示成删点K划分问题。所述方法包括步骤：根据输入版图文件和冲突距离B...
曾璇陆伟成周海严昌浩杨运峰
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一种电子束和多重图案光刻混合工艺版图图案分解方法
本发明属于集成电路半导体制造技术领域，涉及一种电子束和多重图案光刻混合工艺中版图图案分解方法，该方法将最小化电子束使用面积和缝合点数目的版图图案分解问题表示成删点K划分问题。所述方法包括步骤：根据输入版图文件和冲突距离B...
曾璇陆伟成周海严昌浩杨运峰
一种电子束和双重图案混合光刻工艺版图图案分解方法
本发明属于集成电路半导体制造技术领域，涉及一种电子束和双重图案光刻工艺中版图图案分解的方法。本发明将同时最小化电子束使用面积和缝合点数目的版图图案分解问题表示成删点两划分问题；所述方法包括：根据输入版图文件和冲突距离B，...
曾璇陆伟成周海严昌浩杨运峰
一种电子束和双重图案混合光刻工艺版图图案分解方法
本发明属于集成电路半导体制造技术领域，涉及一种电子束和双重图案光刻工艺中版图图案分解的方法。本发明将同时最小化电子束使用面积和缝合点数目的版图图案分解问题表示成删点两划分问题；所述方法包括：根据输入版图文件和冲突距离B，...
曾璇陆伟成周海严昌浩杨运峰
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