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牛晨
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北京印刷学院
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发文基金:
北京市自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
陈强
北京印刷学院
杨丽珍
北京印刷学院
刘忠伟
北京印刷学院
王东栋
北京印刷学院
赵高
北京印刷学院
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作者
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牛晨
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掺氧混合气体放电等离子体氧化处理钙钛矿太阳电池空穴传输层的方法
掺氧混合气体放电等离子体氧化处理钙钛矿太阳电池空穴传输层的方法,涉及太阳电池技术领域。整个处理过程包括下列步骤:(1)制备多层结构的钙钛矿太阳电池;(2)通入掺氧混合气体,用等离子体发生装置产生稳定均匀的低温等离子体,并...
王东栋
曲浩
张春梅
赵高
牛晨
文献传递
一种利用水、氧放电等离子体处理钙钛矿太阳电池的方法
本发明公开了一种利用水、氧放电等离子体处理钙钛矿太阳电池的方法,先制备薄膜钙钛矿太阳电池,然后将所述薄膜钙钛矿太阳电池置于等离子体区域,利用等离子体发生装置产生水、氧等离子体,并利用水、氧等离子体中的活性基团与薄膜钙钛矿...
陈强
张春梅
王东栋
曲浩
王雨萌
赵高
牛晨
文献传递
螺旋波等离子体能量耦合的研究进展
2016年
螺旋波等离子体源耦合效率高,能够产生高密度、大体积的等离子体。当外加射频源通过天线和等离子体耦合,在放电腔中将存在着多种波模式,而射频功率耦合机制直接影响耦合效率和能量沉积。对近年来在螺旋波等离子体源中存在的朗道阻尼、静电波、径向局域模式和电子俘获耦合机制进行了综述。低磁场下驻波在边界耦合的静电波起着重要作用,而高磁场下螺旋波在径向等离子体梯度形成的势阱中进行体功率耦合。永磁铁阵列螺旋波源在大面积、高速材料处理应用中可能会成为下一步发展的趋势。
牛晨
刘忠伟
杨丽珍
陈强
低磁场下驻波对螺旋波等离子体均匀性的影响
被引量:1
2017年
螺旋波放电具有很高的耦合效率,作为一种高密度等离子体源在材料表面处理、薄膜沉积、离子推进器等领域具有广阔的应用前景.不同的波模式下能量耦合的方式直接关系到源区的等离子体分布,进而影响扩散腔中材料的处理和沉积薄膜的均匀性.本文通过电特性(功率-电流)曲线、增强型电荷耦合相机和磁探针诊断等方式对螺旋波等离子体源中出现的角向不均匀性进行研究,认为天线下端出现的驻波螺旋波可能是造成这种现象的关键因素.
牛晨
刘忠伟
杨丽珍
陈强
关键词:
驻波
均匀性
波诊断
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