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刘依依
作品数:
3
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供职机构:
常州天合光能有限公司
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熊震
常州天合光能有限公司
付少永
常州天合光能有限公司
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作者
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付少永
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熊震
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刘依依
年份
3篇
2015
共
3
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一种镓锗硼共掺单晶硅及其制备方法
本发明涉及一种镓硼锗共掺单晶硅,属于半导体材料制作技术领域,其特征在于:在单晶硅中掺杂有镓、硼、锗三种元素,该三种元素在单晶硅中最终的原子体积浓度分别为:镓元素1.02×10<Sup>15</Sup>-1.02×10<S...
刘依依
葛文星
付少永
熊震
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一种镓锗硼共掺准单晶硅及其制备方法
本发明涉及一种镓硼锗共掺准单晶硅,属于半导体材料制作技术领域,在准单晶硅中掺杂有镓、硼、锗三种元素,该三种元素在单晶硅中最终的原子体积浓度分别为:镓元素1.02*10<Sup>15</Sup>-1.02*10<Sup>1...
刘依依
葛文星
付少永
熊震
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一种镓锗硼共掺多晶硅及其制备方法
本发明涉及一种镓硼锗共掺多晶硅,属于半导体材料制作技术领域,其特征在于:在单晶硅中掺杂有镓、硼、锗三种元素,该三种元素在单晶硅中最终的原子体积浓度分别为1.02*10<Sup>15</Sup>-1.02*10<Sup>1...
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