张树
- 作品数：56 被引量：61H指数：5
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：中央级公益性科研院所基本科研业务费专项中国计量科学研究院基本科研业务费项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 用于微纳米位移定位校准的双溯源链路计量标准装置的建立
- 2025年
- 微纳米定位技术是前沿科学和工程技术领域的关键技术之一,其中微纳米定位平台的位移校准在精密测量领域中占据重要地位,中国计量科学研究院研制了用于微纳米位移定位校准的双溯源链路计量标准装置,并建立为我国计量标准。该装置包含激光干涉法微纳米位移定位校准装置与光栅衍射干涉法微纳米位移定位校准装置,其中激光干涉法校准装置通过六自由度激光干涉校准系统实现了纳米微位移平台直接全面校准,在该溯源链路中量值通过激光干涉仪溯源至米定义的波长基准;光栅衍射干涉法校准装置以一维纳米光栅标准物质为核心,在该溯源链路中量值通过光栅栅距溯源至米定义的波长基准。双溯源链路计量标准装置满足了微纳米定位校准的多样化应用需求并增强溯源方式的全面性和可靠性,保证了集成电路领域光刻等微纳米级位移的高精度测量、航空航天工业关键部件的精密装配测量,该计量装置的建立为我国微纳米定位技术的发展提供了重要的技术支撑。
- 施玉书施玉书张诗涵史舟淼於灿杰邓晓邓晓程鑫彬皮磊
- 关键词：计量学光栅标准物质
- 用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置
- 本实用新型公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节，由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节，通过上述双级调...
- 李琪高思田李伟施玉书黄鹭黎雄威李适张树
- 文献传递
- 基于激光干涉与电容传感复合校准技术的纳米微动台分辨力评价方法研究被引量：2
- 2023年
- 激光干涉仪测量纳米级分辨力时,因环境等因素的干扰测量具有局限性,电容传感器可较好地对抗这种干扰,但存在无溯源性、非线性误差的缺点。为实现纳米级分辨力的量值溯源,保障量值准确性,采用激光干涉仪对电容传感器进行校准,从而形成纳米微动台-电容传感器-激光干涉仪的完成溯源链。通过量值溯源实验可知,在10 nm步进下电容传感器与激光干涉仪测量量值最大偏差为0.8 nm;电容传感器分辨力校准实验中,纳米位移台分辨力为2 nm。上述结果说明此校准方法具有一定的可行性和实用性。
- 阎晗张树皮磊马英瀚胡佳成施玉书
- 关键词：激光干涉仪
- 一种纳米位移台六自由度校准装置
- 本发明公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量...
- 施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
- 文献传递
- 一种表面微观形貌测量传感器
- 本实用新型公开一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，...
- 施玉书张树皮磊史舟淼高思田李伟李琪李适黄鹭
- 基于条件生成式对抗网络的AFM图像盲重构方法被引量：3
- 2021年
- 针对原子力显微镜(AFM)成像过程中针尖展宽效应引起的误差,提出一种基于条件生成式对抗网络(CGAN)的AFM图像盲重构方法。首先,以pix2pixHD模型为基础,通过全局生成网络对仿真样本数据进行对抗训练,引入AFM测量数据采用局部提升网络联合训练;最后,特征匹配损失函数以用于提升栅格边缘横向分辨力。实验结果表明:对于线宽8μm一维矩形栅格在AFM下的测量图像进行盲重构,重构图像标准差为0.33μm×0.45μm,具有较高的成像分辨力,有利于提升AFM图像一维栅格测量的准确度。
- 胡佳成颜迪新曹丛施玉书张树李东升
- 关键词：计量学图像重构原子力显微镜
- 触针式表面形貌测量仪探针几何特性引起的失真机理与识别方法
- 2024年
- 触针式表面形貌测量仪广泛应用于表面粗糙度、几何形状和波纹度等参数的测量,但探针与被测表面交互时所产生的卷积效应会导致测量结果的失真。通过分析探针几何特性引起的失真机理,将失真按其特性分为典型失真和复杂失真。针对探针球形针尖和锥角复合效应引起的失真现象,提出了一种复杂失真的多模态识别方法。实验结果表明:相较于形貌测量仪单模态识别典型失真的限制,该方法可以有效识别形貌测量结果中的复杂失真,同时对测量结果提供可信度解释,为测量结果中失真数据的准确识别和还原提供新的思路。
- 王康皮磊张树张诗涵施玉书
- 关键词：几何量计量探针表面形貌
- 用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置
- 本发明公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节，由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节，通过上述双级调节可...
- 李琪高思田李伟施玉书黄鹭黎雄威李适张树
- 一种翼型光学结构的精密位移传感器
- 本发明公开一种翼型光学结构的精密位移传感器，涉及精密位移测量领域，包括：第一折光装置和第二折光装置分别位于第一偏振分光镜的第一侧面、第二侧面、第三侧面和第四侧面；激光被第一偏振分光镜分为第一偏振光和第二偏振光；第一偏振光...
- 施玉书张树王芳高启元
- 一种纳米位移台六自由度校准装置
- 本实用新型公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移...
- 施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
