徐杨
- 作品数：3 被引量：11H指数：2
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
- 发文基金：高等学校骨干教师资助计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 双惠斯登电桥集成压力传感器
- 设计了两种新型双惠斯登电桥结构集成压力传感器.其中力敏电桥位于膜片上的高应力区,补偿电桥位于膜片对角线上或膜片附近逐渐增厚的体硅区,并且组成每个电桥的四个电阻集中设置在同一区域.将力敏电桥和补偿电桥的输出信号相减,可望明...
- 岳瑞峰徐杨刘理天李志坚
- 关键词：压力传感器应力分析惠斯登电桥温度漂移
- 文献传递
- 基于MOEMS技术的一种F-P光开关的设计与制作被引量：7
- 2002年
- 研制了一种用于 WDM光通信系统的多层介质膜 Fabry- Perot腔结构式光开关 ,面积为 1.5 m m× 1.5 m m.光开关采用多层复合膜消除内应力 ,防止产生过度变形 ;中心的十字复合梁有利于提高机械灵敏度 ,降低驱动电压 .体硅腐蚀出的硅杯既减小了光开关的插损 ,又便于端面输入输出光纤的精确对准与固定 ,有效降低封装成本 .制成的开关转换电压为 2 0 V,关态隔离度为 87% ,开态插损为 0 .15 d B.其结构和工艺简单 ,易于与 IC工艺相结合形成规模生产 ,如增加膜的层数便能制成基于 F- P干涉仪结构的滤波器 .
- 徐杨吴霁虹刘理天陈兢董良
- 关键词：光纤通信波分复用
- 富氧氮氧化硅薄膜退火的研究被引量：4
- 2002年
- 利用红外吸收 (IR)谱和 X射线光电子谱 (XPS)对富氧氮氧化硅 (oxygen- rich Si Ox Ny)及其在 6 0 0、75 0和90 0℃下退火后样品的微结构进行了研究 .实验中除观察到 N、H的释放外 ,首次发现退火会导致 Si Ox Ny 中 O的释放 ,同时还发现退火温度不同 ,H、O、N元素的释放量以及微结构的变化都不相同 ,根据这些现象 ,提出了
- 但亚平岳瑞峰王燕姚永昭徐杨刘理天
- 关键词：退火
