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戎华
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
西安交通大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
陶慧斌
西安交通大学
李俊峰
西安交通大学
张声良
西安交通大学
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年份
1篇
1999
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单片机和脉宽调制控制的斜坡高压电源的研制
被引量:1
1999年
提出了静电键合中渐近加压的思想,并研制成功了用单片机控制、以脉宽调制(PWM)技术为基础的渐近加压的斜坡高压电源。实践证明,使用该电源进行静电键合能显著改善静电键合的质量,从而大大提高静电键合的合格率。
陶慧斌
戎华
李俊峰
张声良
关键词:
单片机
脉宽调制
传感器
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