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郭亚北
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航天长征火箭技术有限公司
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相关领域:
自动化与计算机技术
环境科学与工程
电气工程
电子电信
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合作作者
金小锋
航天长征火箭技术有限公司
路文一
航天长征火箭技术有限公司
孙延东
航天长征火箭技术有限公司
闫海
航天长征火箭技术有限公司
孟丽娜
航天长征火箭技术有限公司
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作者
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郭亚北
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金小锋
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一种用于提升石英微机械三维结构对准精度的方法
一种用于提升石英微机械三维结构对准精度的方法,对准标记为配套使用的一套二维图形,包括内部对准标记和外部对准标记,内部对准标记与石英微机械三维结构通过一次光刻转移到石英晶片上同时进行湿法腐蚀,对准时通过移动晶片实现第二次套...
杨雪蕾
郭亚北
路文一
孟丽娜
陶晋
段亚飞
王健
电镀金属厚膜质量均匀性的仿真与优化
在石英音叉陀螺微细加工工艺中,使用电镀工艺制作激光修调质量块,用于消除正交耦合误差。本文重点分析了电场强度和对流传质对电镀质量块均匀性的影响。采用ANSYS有限元分析软件对电镀过程中的电场强度分布进行了模拟分析,模拟和试...
闫海
郭亚北
孟丽娜
于慧
路文一
关键词:
电镀
均匀性
ANSYS
MHD角振动传感器感应电势检测放大结构设计
MHD角振动传感器利用惯性导电流体与内部静磁场之间的相对运动形成感应电势的特性,实现角振动运动的检测,但对应的感应电势为微小交变电势信号,直接检测放大有—定的难度.本文所介绍MHD角振动传感器的敏感核心采用线圈电感与检测...
张瀚
廉杰
郭亚北
刘海涛
金小锋
关键词:
电流互感器
灵敏度
高带宽
SPC在石英音叉陀螺光刻工艺中的应用
音叉陀螺光刻对准精度直接影响石英音叉结构的不对称性,而石英音叉结构的不对称性是陀螺正交耦合误差的根源.为了提高石英音叉陀螺光刻工艺的水平,采用SPC(Statistical Process Control)统计过程控制方...
路文一
孟丽期
金小锋
郭亚北
孙延东
关键词:
石英音叉陀螺
光刻工艺
误差分析
一种内置集成电荷放大器的石英音叉陀螺
本发明公开了一种内置集成电荷放大器的石英音叉陀螺,包括石英音叉敏感元件、陶瓷混合集成电路和封装管壳,石英音叉敏感元件包括驱动叉臂、拾取叉臂、扭转框、锚点;管壳包括底座、上盖板和多个管脚;陶瓷混合集成电路包括精密运算放大器...
孙延东
郭亚北
孟丽娜
邹江波
金小锋
路文一
于慧
杨丹
王健
陈倩
文献传递
一种用于微型敏感元件对位安装的工装及方法
本发明提供一种用于微型敏感元件对位安装的工装及方法,工装包括基座承载结构、贴片限位结构、定位销和配重结构,其中基座承载结构上设计了定位槽,用于待贴片基座的放置和粗限位。限位结构上分别根据敏感元件的外形尺寸和基座定位管脚的...
杨雪蕾
郭亚北
路文一
段亚飞
孟丽娜
陶晋
杨丹
一种内置集成电荷放大器的石英音叉陀螺
本发明公开了一种内置集成电荷放大器的石英音叉陀螺,包括石英音叉敏感元件、陶瓷混合集成电路和封装管壳,石英音叉敏感元件包括驱动叉臂、拾取叉臂、扭转框、锚点;管壳包括底座、上盖板和多个管脚;陶瓷混合集成电路包括精密运算放大器...
孙延东
郭亚北
孟丽娜
邹江波
金小锋
路文一
于慧
杨丹
王健
陈倩
文献传递
石英音叉陀螺正交误差修调方法的研究
正交误差是石英音叉陀螺的主要误差源之一,使用激光烧除质量的方式可以将正交误差控制在较小范围.分析了正交误差产生的机理,通过有限元仿真研究了在去除质量时正交输出、驱动频率与拾取频率的变化关系,并对实际测试与仿真结果进行了比...
郭亚北
孙延东
金小锋
关键词:
石英音叉陀螺
有限元仿真
文献传递
一种用于提升石英微机械三维结构对准精度的方法
一种用于提升石英微机械三维结构对准精度的方法,对准标记为配套使用的一套二维图形,包括内部对准标记和外部对准标记,内部对准标记与石英微机械三维结构通过一次光刻转移到石英晶片上同时进行湿法腐蚀,对准时通过移动晶片实现第二次套...
杨雪蕾
郭亚北
路文一
孟丽娜
陶晋
段亚飞
王健
文献传递
一种微型敏感元件的贴片装置
本实用新型提供一种微型敏感元件的贴片装置,包括基座承载结构、贴片限位结构、配重结构、基座限位槽、敏感元件限位槽、定位销限位孔、定位销,基座限位槽用于待贴片基座的放置和粗限位,限位结构上分别根据敏感元件的外形尺寸和基座定位...
杨雪蕾
郭亚北
路文一
段亚飞
孟丽娜
陶晋
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