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夏国银
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
南京大学电子科学与工程学院固体微结构物理国家重点实验室
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
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相关领域:
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合作作者
江小帆
南京大学电子科学与工程学院固体...
陈坤基
南京大学电子科学与工程学院固体...
黄信凡
南京大学电子科学与工程学院固体...
冯端
南京大学电子科学与工程学院固体...
徐骏
南京大学电子科学与工程学院固体...
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1篇
SIOX薄膜
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硅
机构
4篇
南京大学
作者
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夏国银
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马忠元
3篇
徐岭
3篇
徐骏
3篇
冯端
3篇
黄信凡
3篇
陈坤基
3篇
江小帆
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杨华峰
1篇
李伟
1篇
王越飞
传媒
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物理学报
年份
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2014
1篇
2013
1篇
2012
1篇
2011
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一种有序可控纳米硅量子点阵列阻变存储器及其制备方法
本发明涉及一种有序可控纳米硅量子点阵列阻变存储器,属于非挥发性存储器技术领域。该存储器包括P+硅衬底材料,其特征在于:还包括附着在衬底材料上的阻变硅量子点多层膜纳米柱阵列,以及分别附着在阻变硅量子点多层膜纳米柱阵列上表面...
马忠元
陈坤基
徐岭
夏国银
江小帆
杨华峰
徐骏
黄信凡
冯端
一种有序可控纳米硅量子点阵列阻变存储器及其制备方法
本发明涉及一种有序可控纳米硅量子点阵列阻变存储器,属于非挥发性存储器技术领域。该存储器包括P+硅衬底材料,其特征在于:还包括附着在衬底材料上的阻变硅量子点多层膜纳米柱阵列,以及分别附着在阻变硅量子点多层膜纳米柱阵列上表面...
马忠元
陈坤基
徐岭
夏国银
江小帆
杨华峰
徐骏
黄信凡
冯端
文献传递
SiOx(x=1.3)薄膜的优化阻变特性与退火温度的关系探究
被引量:1
2014年
采用电子束蒸发技术在Si衬底上制备了亚氧化硅SiOx(x=1.3)薄膜,研究了不同温度热退火处理的SiOx薄膜作为阻变层的ITO/SiOx/Si/Al结构的阻变特性.研究发现,在电极尺寸相同的条件下,随着退火温度的增加,该结构的高低阻态比显著提高,最高可达109.X射线光电子能谱和电子顺磁共振能谱的分析表明,不同退火温度下形成的不同价态的硅悬挂键是低阻态下细丝通道的主要来源.椭偏仪的测试结果表明,经过热退火处理的SiOx薄膜折射率的增大是导致高阻态下器件电阻增大的原因.
任圣
马忠元
江小帆
王越飞
夏国银
陈坤基
黄信凡
徐骏
徐岭
李伟
冯端
关键词:
SIOX薄膜
阻变纳米硅薄膜的制备及其阻变特性的研究
随着英特尔公司宣布开始量产22纳米工艺制程的芯片,集成电路的器件线宽不断减小,基于电荷存储机制的传统存储器已经遇到极大的挑战。在这个背景下,许多新型存储器被提出,其中最有希望的候选之一就是阻变存储器,而阻变存储机制的研究...
夏国银
关键词:
纳米硅薄膜
电子束蒸发法
退火工艺
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