2025年1月23日
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周云飞
作品数:
4
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供职机构:
华南师范大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
刘胜德
华南师范大学
钟丽云
华南师范大学
吕晓旭
华南师范大学
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机构
4篇
华南师范大学
作者
4篇
吕晓旭
4篇
钟丽云
4篇
刘胜德
4篇
周云飞
年份
2篇
2019
2篇
2016
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4
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一种白光扫描干涉测量方法与系统
本发明涉及一种白光扫描干涉测量方法与系统,所述系统包括白光扫描模块、定标模块、固定平板、以及压电陶瓷微位移平台。所述白光扫描模块包括白光光源;柯勒照明系统;第一分束镜、第二分束镜;第一显微物镜和第二显微物镜;成像透镜及第...
吕晓旭
蔡红志
周云飞
刘胜德
钟丽云
文献传递
基于白光扫描干涉的镀膜器件三维形貌测量方法
本发明涉及一种基于白光扫描干涉的镀膜器件三维形貌测量方法,其对应基底部分干涉信号零光程差位置提取过程转换为通过广义相关时延估计方法来求取不同像素间的干涉信号相对位移问题,从而可以精确的求出基底部分三维形貌信息。另外,还可...
吕晓旭
蔡红志
周云飞
刘胜德
钟丽云
基于白光扫描干涉的镀膜器件三维形貌测量方法
本发明涉及一种基于白光扫描干涉的镀膜器件三维形貌测量方法,其对应基底部分干涉信号零光程差位置提取过程转换为通过广义相关时延估计方法来求取不同像素间的干涉信号相对位移问题,从而可以精确的求出基底部分三维形貌信息。另外,还可...
吕晓旭
蔡红志
周云飞
刘胜德
钟丽云
文献传递
一种白光扫描干涉测量方法与系统
本发明涉及一种白光扫描干涉测量方法与系统,所述系统包括白光扫描模块、定标模块、固定平板、以及压电陶瓷微位移平台。所述白光扫描模块包括白光光源;柯勒照明系统;第一分束镜、第二分束镜;第一显微物镜和第二显微物镜;成像透镜及第...
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