陈晓磊
- 作品数:23 被引量:0H指数:0
- 供职机构:南京航空航天大学更多>>
- 发文基金:中国航空科学基金国家自然科学基金NSFC-广东联合基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺机械工程更多>>
- 基于PDMS掩模的海量阵列群小孔电解加工方法及装置
- 本发明涉及一种基于PDMS掩模的海量阵列群小孔电解加工方法及装置,属电解加工技术领域。该方法包括以下步骤:1.运用常压等离子表面处理机对PDMS模板表面进行处理;2.将表面经过等离子处理的两块PDMS掩模板与工件阳极表面...
- 曲宁松陈晓磊李寒松
- 文献传递
- 大面积微坑阵列高精度电解加工的系统及方法
- 本发明涉及大面积微坑阵列高精度电解加工的系统及方法,属微细电解加工领域。该方法包括:制作阴极工具和夹具,在阴极工具下表面处设置出液口,进液口与出液口总截面积比为50‑200;柔性模板贴在阳极工件上,装夹阴极工具和阳极工件...
- 曲宁松侯志保陈晓磊潘永强
- 文献传递
- 随动式电解加工阵列微小凹坑的方法
- 本发明提出了一种随动式电解加工阵列微小凹坑的方法,属电解加工技术领域。该方法首先是制作工具阴极,工具阴极由金属工具与带有贯穿群孔结构的掩模板组成,工件阳极、工具阴极分别与电源正负极连接,将工件阳极浸入到电解液中,将工具阴...
- 曲宁松张西方陈晓磊朱荻
- 采用柔性模板提高阵列微坑电解加工定域性的系统及方法
- 本发明涉及一种采用柔性模板提高阵列微坑电解加工定域性的系统及方法,属微细电解加工技术领域。该系统,包括工件阳极(4)、紧密贴于工件阳极(4)表面的带有贯穿群孔的掩模板(3)、工具阴极(1)、分别与工件阳极(4)、工具阴极...
- 陈晓磊曲宁松
- 基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法
- 本发明涉及一种基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法,属微细电解加工领域。包括:阴极工具(1)、PDMS掩模、阳极工件(3)、夹具(5)、电解液(6)、电源(7);其特征在于:PDMS掩模为磁性PDMS掩模(...
- 侯志保曲宁松陈晓磊
- 文献传递
- 随动式电解加工阵列微小凹坑的方法
- 本发明提出了一种随动式电解加工阵列微小凹坑的方法,属电解加工技术领域。该方法首先是制作工具阴极,工具阴极由金属工具与带有贯穿群孔结构的掩模板组成,工件阳极、工具阴极分别与电源正负极连接,将工件阳极浸入到电解液中,将工具阴...
- 曲宁松张西方陈晓磊朱荻
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- 基于光致抗蚀干膜的掩膜制备及其应用研究
- 2014年
- 在传统工艺流程中,必须先将干膜贴于工件表面,然后进行光刻,但干膜不可重复使用。现提出一种新型干膜光刻工艺流程,在干膜贴于工件表面之前,先对干膜单独进行光刻试验研究。基于该新型工艺流程,研究了杜邦干膜GPM220的曝光及显影特性。经过对曝光量(曝光时间)及显影时间的参数优化,最终在干膜上获得了平均直径为99.7μm的通孔阵列,并将其作为掩膜应用于微细电解加工,通过选择合理的加工参数,在工件表面获得了平均直径为125μm、平均深度为10μm的微坑阵列。电解实验后的干膜易与工件分离,可实现重复使用,提高了干膜的利用率。
- 曾永彬蔡伟伟李寒松陈晓磊张西方
- 关键词:显影
- 压力辅助式电解加工微坑阵列的系统及方法
- 本发明涉及压力辅助式电解加工微坑阵列的系统及方法,属微细电解加工领域。该方法包括:具有通孔阵列的柔性模板(2)贴在阳极工件(3)上,装夹阴极工具(7)和阳极工件;加工前打开第三阀门(5)和第二阀门(11),开启泵(13)...
- 曲宁松侯志保陈晓磊
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- 采用柔性模板提高阵列微坑电解加工定域性的系统及方法
- 本发明涉及一种采用柔性模板提高阵列微坑电解加工定域性的系统及方法,属微细电解加工技术领域。该系统,包括工件阳极(4)、紧密贴于工件阳极(4)表面的带有贯穿群孔的掩模板(3)、工具阴极(1)、分别与工件阳极(4)、工具阴极...
- 陈晓磊曲宁松
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- 基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法
- 本发明涉及一种基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法,属微细电解加工领域。包括:阴极工具(1)、PDMS掩模、阳极工件(3)、夹具(5)、电解液(6)、电源(7);其特征在于:PDMS掩模为磁性PDMS掩模(...
- 侯志保曲宁松陈晓磊
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