何世明
- 作品数：17 被引量：25H指数：3
- 供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 发文基金：四川省青年科技基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信电气工程更多>>
- 一种用于沉积制备薄膜的装置
- 本实用新型公开了一种用于沉积制备薄膜的装置，它是由导轨、转轴、圆形基片夹具组成，导轨与转轴相连，导轨中心线与转轴轴线有一夹角，圆形基片夹具置于导轨凹槽中，在凹槽中，圆形基片夹具和导轨有一个间隙，该装置实际上是以单轴带动实...
- 陶伯万刘兴钊罗安李言荣何世明陈家俊
- 文献传递
- 基片对SrTiO_3薄膜结构与介电性能的影响
- 2006年
- 对比研究了MgO和LaAlO3(LAO)单晶基片上采用脉冲激光法生长的SrTiO3(STO)薄膜的微观结构和介电性能。通过XRD,AFM和制备叉指电容测量的方法研究发现,在MgO基片上生长高质量(00L)织构STO薄膜需要较高的生长温度;LAO基片上的STO薄膜更加平整;而MgO上的STO薄膜具有更高的零偏压介电常数和更强的非线性介电性质。
- 何世明李言荣刘兴钊
- 关键词：无机非金属材料SRTIO3薄膜基片微观结构介电性能
- STO/YBCO薄膜的制备及介电性能研究被引量：2
- 2003年
- 采用脉冲激光沉积技术,在(100)LaAlO3单晶基片上生长SrTiO3/Y1Ba2Cu3O7-x(STO/YBCO)多层薄膜。XRD分析表明:YBCO薄膜和STO薄膜均为C轴取向,STO(002)/YBCO(006)衍射峰摇摆曲线半高宽为0.73°。AFM分析表明,STO/YBCO多层薄膜表面平整、均匀,在77K,100kHz的测试条件下,STO薄膜介电损耗tgδ<10-2,在53.6kV/cm电场作用下,介电常数的相对变化为38%。
- 李德红刘兴钊何世明陆清芳李言荣张鹰申妍华陈家俊
- 关键词：介电性能铁电薄膜脉冲激光沉积
- 倒筒式直流溅射法生长大尺寸双面YBCO高温超导薄膜被引量：3
- 2002年
- 采用倒筒式直流溅射结合辐射加热方法对无源微波器件用的Y1 Ba2 Cu3O7-x(YBCO)双面薄膜生长进行了研究 ,实验结果表明 :直流非磁控溅射可以制备性能良好的薄膜 .通过基片绕支撑杆和基片表面法线旋转 ,实现了在 (10 0 )LaAlO3基片两面同时原位沉积厚度均匀的YBCO薄膜 .生长出的 2 5 .4mm(linch)高质量的YBCO双面薄膜 ,两面的Tc0 分别为 90 .3K和 90 .4K ,超导转变宽度均为 0 .8K ,两面的微观表面电阻 (Rs)随温度变化一致 ,Rs(77K ,10GHz)分别为 3 3 0 μΩ和 40 0 μΩ .在直径 3 0mm的基片上 ,薄膜的厚度均匀性良好 ,其厚度起伏在 10 %以内 .薄膜面内的Tc0 分布在 90K附近 ,Rs 都分布在 1mΩ以内 。
- 陶伯万刘兴钊张鹰罗安何世明李言荣
- 关键词：高温超导薄膜YBCO
- 大面积YBCO高温超导双面薄膜的生长研究被引量：4
- 2001年
- 采用倒筒式直流溅射 (ICS)方法 ,辐射方式加热基片 ,通过电机带动基片旋转 ,在两面同时溅射沉积YBCO高温超导双面薄膜。在加热温度为 85 0℃ ,总压强为 35Pa ,氧氩比为 1∶2 ,靶基距 5 0mm ,基片转速 5～ 40r/min条件下 ,在 2 0mm× 2 0mm的LaAlO3(10 0 )单晶基片上制得两面性能优良且一致性很好的YBCO高温超导双面薄膜。样品两面性能达到 :Tc0 =89 1K ,ΔTc=0 2K ,Jcl=2 6 9MA/cm2 ,Jc2 =2 74MA/m2 (77K ,0T) ,Rsl=0 2 4mΩ ,Rs2 =0 2 9mΩ(77K ,10GHz,0T) ,可满足制作微波器件的要求。
- 陶伯万罗安李言荣刘兴钊何世明
- 关键词：YBCO超导薄膜溅射
- 3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜研究
- 本文采用倒筒直流溅射方法(ICS)结合基片变速双轴旋转方式原位生长Φ3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜.膜厚分布最大偏差小于10﹪,薄膜样品的中心与边缘部分的Tc0均达到90K,ΔTc≤0.3K,FWHM(005)≈0....
- 陈家俊张其劭陶伯万邓新武刘兴钊李德红张鹰何世明李言荣羊恺
- 关键词：高温超导薄膜均匀性
- 文献传递
- 基于非线性介电薄膜的电调滤波器优化设计被引量：2
- 2006年
- 采用脉冲激光沉积(PLD)法在(001)MgO基片上制备出高质量的SrTiO3(STO)薄膜,构建了Au/STO/MgO结构的叉指电容。在77K、10KHz条件下,对叉指电容的特性进行了测试,结果表明:在40 kV/cm的直流电场作用下,电容值从1.75 pF减小为1.25 pF,电容值的相对变化率为28.5%。在此基础上,根据多层介质叉指电容保角变换模型。定量计算和仿真了STO薄膜的介电常数和微波频率下叉指电容的性能参数,并由此设计了一个三阶带通滤波器,该滤波器可实现13.50%的中心频率移动。
- 吴达军何世明刘兴钊李言荣
- 关键词：STO介电性质滤波器
- 生长温度对PLD原位生长SrTiO_3薄膜结构与非线性介电性能的影响被引量：3
- 2005年
- 采用脉冲激光沉积法 ( PLD ) 制备的Y1B2Cu3O7-x薄膜作为叉指底电极,然后生长 SrTiO3介质薄膜,形成叉指型压控电容结构。通过对 SrTiO3薄膜的原位生长温度与薄膜微观结构及非线性介电性能之间的关系研究,发现随生长温度的升高薄膜晶粒逐步增大然后变小,薄膜的介电常数可调率和本征介电损耗随晶粒大小的增大而增加,而非本征损耗则随晶粒取向的增加而减小。
- 何世明李言荣刘兴钊陶伯万段滨
- 关键词：SRTIO3薄膜介电性能非线性
- 双面YBCO外延高温超导薄膜的两面同时溅射沉积技术
- 李言荣陶伯万刘兴钊姜斌罗安徐进何世明
- 该项目采用单靶倒筒式直流溅射方法在基片两面同时原位沉积YBCO薄膜，保证双面薄膜基片的表面的两面一致性；采用双轴旋转和对单端开口的圆筒形加热器进行热设计，实现大面积基片的表面温度均匀，从而保证大面积双面膜的面内均匀性；采...
- 关键词：
- 关键词：高温超导
- φ40mm双面YBCO高温超导薄膜均匀性研究
- 本文采用单靶倒筒式直流溅射（ICS）,辐射方式加热基片,旋转基片在基片两面同时溅射沉积YBCO高温超导双面薄膜。通过改进加热器,在该系统中可制备φ450mm的双面YBCO薄膜。我们选择了不同的基片运动方式,对薄膜沉积进行...
- 陶伯万罗安刘兴钊何世明李言荣
- 关键词：YBCO溅射
- 文献传递
