彭博方
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 一种并行共焦检测系统及方法
- 本发明揭示了一种并行共焦检测系统及方法，所述系统包括单色LED光源、数字微镜、两个透镜、分光棱镜、电控可变焦透镜、探测针孔、光强探测器、电压控制器、PC。单色LED光源发出的光通过经过集光镜照射到数字微镜表面，光源被数字...
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- 文献传递
- 一种声光式外差干涉仪的光路装置
- 本实用新型公开了一种声光式外差干涉仪的光路装置，包括：光源、分光镜、平面镜、一对声光调制器、偏振分光镜、一对四分之一波片、一对角锥棱镜、一对偏振片和一对光接收器。该装置利用声光调制器对入射光的位相和频率进行调制，利用其一...
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- 文献传递
- 基于二维周期结构衍射的套刻测量技术研究被引量：1
- 2014年
- 基于衍射光探测的套刻测量技术(DBO)具备高分辨率、高精度及低的工具引起编差(TIS)等显著优点,已逐步取代传统基于成像的套刻测量技术(IBO),成为大规模集成电路22 nm及以下工艺技术节点所广泛采用的套刻测量方式。相较IBO技术,DBO技术面临的最大问题是标记成本高,测量时间长。IBO技术仅需使用单个标记测量x、y两个方向的套刻误差,而DBO则需要分别使用x、y两种方向的一维光栅实现测量,且每个方向至少需要2个标记。提出一种基于二维周期结构标记衍射光探测的套刻测量方法,使用严格耦合波分析(RCWA)算法建立标记衍射光的物理模型,通过分析该方法测量套刻的灵敏度、主要测量误差,验证该方法的可行性。二维DBO测量方法的应用,将使标记成本和测量时间比传统的DBO方法减少一半,显著降低DBO测量的成本并提高测量效率。
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- 关键词：套刻衍射光栅
