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崔光龙
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
南开大学
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
齐龙茵
南开大学信息技术科学学院电子科...
赵飞
南开大学信息技术科学学院电子科...
张德贤
南开大学信息技术科学学院电子科...
张晓
南开大学
陶科
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崔光龙
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陶科
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1篇
2008
2篇
2006
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电子束蒸发低温制备锡掺杂氧化铟ITO薄膜的方法
本发明涉及电子束蒸发低温制备锡掺杂氧化铟ITO薄膜的方法。通过控制蒸发条件,在氧分压5.0×10<Sup>-2</Sup>Pa,衬底温度100℃,电子枪电压-8.0kv等条件下,实现采用电子束蒸发低温高效无损伤制备锡掺杂...
蔡宏琨
齐龙茵
赵飞
冯凯
张晓
崔光龙
陶科
席强
张德贤
文献传递
电子束低温蒸发ITO膜增透、增反特性研究
被引量:2
2006年
本实验是在低温条件下,采用电子束蒸发制备ITO透明导电薄膜,通过监测电阻来控制薄膜的厚度,通过控制薄膜厚度研究了增透和增反两种效果的ITO膜的制备及膜的光学特性。当膜厚达170 nm和83 nm时透过率和反射率可达95%和6%。
齐龙茵
张德贤
何俊峰
崔光龙
赵飞
刘召军
李胜林
关键词:
ITO
增透
柔性衬底
电子束蒸发
电子束蒸发低温制备锡掺杂氧化铟ITO薄膜的方法
本发明涉及电子束蒸发低温制备锡掺杂氧化铟ITO薄膜的方法。通过控制蒸发条件,在氧分压5.0×10<Sup>-2</Sup>Pa,衬底温度100℃,电子枪电压-8.0kV等条件下,实现采用电子束蒸发低温高效无损伤制备锡掺杂...
蔡宏琨
齐龙茵
赵飞
冯凯
张晓
崔光龙
陶科
席强
张德贤
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