董自强
- 作品数：16 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第五十四研究所更多>>
- 发文基金：公益性行业科研专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学交通运输工程更多>>
- 一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器及制作方法
- 本发明公开了一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器及制作方法，属于微机电系统技术领域。其包括上级板层、上级板电极引出点、上级板防撞框架、上级板键合环、上级板金环、上级板防撞凸点组、质量层、质量层电极引出点、质量层上键合...
- 张晓桐张松董自强王大宇
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- 低频MEMS矢量水听器技术研究
- 矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,本文基于MEMS微加工工艺研制了一种可固定安装的复合式矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在结构上组合在一起,能够同时拾取水下目标信号的标量信息和矢量信息。水听器采用橡胶...
- 张松董自强李旭苗峻胡天宇李晋朱林张晓桐王大宇
- 关键词：MEMS矢量水听器
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- 一种水下数据无线传输潜标
- 本发明涉及一种水下数据无线传输潜标，属于海洋环境信息监测技术领域。其包括水听器、水通机、电子舱、释放器、浮球、标体框架和底座；水听器安装固定在标体框架上部；水通机安装固定在标体框架上部；电子舱安装在标体框架下部；释放器安...
- 朱林董自强胡天宇苗峻张松张晓桐李晋李旭
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- 一种毫米波RF MEMS开关的制备方法
- 本发明涉及MEMS器件制造领域，特别涉及一种毫米波RF MEMS开关的制备方法，主要包括高阻硅片表面多晶硅及二氧化硅的生长、硅片清洗、CPW图形制作、RF传输线上氮化硅绝缘层的制作、RF传输线氮化硅绝缘层上导体层的制作、...
- 党元兰赵飞梁广华刘晓兰徐亚新董自强唐小平朱二涛杨宗亮严英占王康
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- 一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器
- 本实用新型公开了一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，属于水声信号探测技术领域，其包含MEMS电容式加速度计、固定芯子、垂直悬挂杆、压电陶瓷环、透声密封壳体、圆锥螺旋弹簧；MEMS电容式加速度传感器正交安装在固定...
- 张松王大宇董自强张晓桐苗峻
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- 一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器
- 本发明公开了一种小型化MEMS电容式复合同振型矢量水听器，属于水声信号探测技术领域，其包含MEMS电容式加速度计、固定芯子、垂直悬挂杆、压电陶瓷环、透声密封壳体、圆锥螺旋弹簧；MEMS电容式加速度传感器正交安装在固定芯子...
- 张松王大宇董自强张晓桐苗峻
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- 基于HTCC电路的MEMS复合同振型水听器设计
- 2019年
- 矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,基于MEMS微加工工艺研制了一种复合同振型矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在结构上组合在一起,能够同时拾取水下目标信号的标量信息和矢量信息。内部集成了HTCC调理电路,能够有效降低传感器耦合噪声,提高检测信号的信噪比。通过驻波管计量,MEMS复合式水听器的工作频率范围为20~1000Hz,矢量振速通道灵敏度为-170.5dB@1kHz,标量声压通道灵敏度为-174.7dB@1kHz。通过内嵌电路,信噪比提高了15dB。
- 张松董自强胡天宇苗峻李旭朱林唐立赫张晓桐王大宇
- 关键词：MEMS矢量水听器
- 一种新型螺旋形分布式RF MEMS移相器的设计
- 2019年
- 针对传统的分布式射频(RF)微机电系统(MEMS)移相器结构可靠性较低、平面面积较大、对制作工艺要求较高的问题,设计了一种新型5位分布式RF MEMS移相器,对其螺旋形共面波导结构和31个MEMS开关组进行了简要介绍及仿真分析。移相器体积为2.6 mm×2.6 mm×0.505 mm,工作频率为40 GHz时,31个仿真相移量与设计目标相移量的误差小于3.72°,满足高频、小面积、低损耗和低成本的MEMS相控阵系统应用的需求。
- 张晓桐董自强张松胡天宇苗峻李旭朱林唐立赫王大宇
- 关键词：MEMS移相器MEMS开关相控阵雷达
- 一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器
- 本实用新型公开了一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器，属于微机电系统技术领域。其包括上级板层、上级板电极引出点、上级板防撞框架、上级板键合环、上级板金环、上级板防撞凸点组、质量层、质量层电极引出点、质量层上键合环、质...
- 张晓桐张松董自强王大宇
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- 一种Ka频段MEMS开关的研制被引量：3
- 2014年
- 设计了一种应用于Ka频段的并联电容式MEMS开关,该开关利用表面牺牲层工艺制备,具有低损耗、高隔离度等特点。经测试,开关在Ka频段内,回波损耗优于30dB,插入损耗典型值-0.13dB@27GHz,优于-0.28dB@40GHz,隔离度全频段优于22dB,驱动电压在50V^70V范围。
- 董自强赵博韬石国超
- 关键词：MEMS开关电容式KA频段
