卢文川
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院研究生院更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面反射镜被引量：3
- 2012年
- 在离轴非球面反射镜研磨后期和粗抛光阶段,被测反射镜面形与理想面形存在着较大的偏差,表面反射率较低,采用干涉测量会因局部区域干涉条纹过密或条纹对比度过低,造成普通干涉仪无法进行全口径测量,而普通接触式轮廓仪测量精度此时已经不能满足加工要求。鉴于Shack-Hartmann波前传感器较大的动态范围和较高的测量精度,提出了采用Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面面形,研究了该方法的检测原理并搭建了检测系统,分析了系统误差来源,并制作了用于在轴检测离轴非球面的参考波前,对两个不同加工精度的离轴非球面反射镜进行了测量,并与干涉仪的测量结果进行了对比。对比结果表明,Shack-Hartmann波前传感器的测量结果是正确可靠的,并且可以弥补轮廓仪测量和干涉仪测量的不足,从而证明了采用Shack-Hartmann波前传感器在轴检测离轴非球面的可行性和正确性。
- 卢文川张金平王孝坤张忠玉郑立功张学军
- 关键词：光学测量离轴非球面
- SHWS检测大口径离轴非球面的应用研究
- 光学系统采用非球面元件,不仅可以提高像差校正能力,还能减少光学元件的数目,从而简化光学系统的结构、降低光学系统的重量,因此非球面反射镜越来越多地应用于民用、国防军事、航空航天、天文观测等领域。随着空间光学技术的迅速发展,...
- 卢文川
- 关键词：动态范围CGH
- 文献传递
