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程荣俊

作品数：12 被引量：2H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：长江学者和创新团队发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇石英
  • 4篇压电效应
  • 4篇压焊
  • 4篇逆压电效应
  • 4篇芯片
  • 4篇硅基
  • 4篇硅基底
  • 4篇传感器芯片
  • 3篇压力传感器
  • 3篇石英音叉
  • 3篇双端
  • 3篇力传感器
  • 3篇固支
  • 2篇对准标记
  • 2篇信号
  • 2篇信号提取
  • 2篇石英晶体

机构

  • 12篇西安交通大学

作者

  • 12篇赵玉龙
  • 12篇程荣俊
  • 5篇李村
  • 3篇田边
  • 2篇李波
  • 2篇赵建华
  • 1篇李晓博

传媒

  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇第十三届全国...

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2017
  • 3篇2015
  • 4篇2014
  • 3篇2013
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种石英谐振梁式微压力传感器芯片
一种石英谐振梁式微压力传感器芯片，包括玻璃基底，玻璃基底上设有压力孔，硅压力敏感膜片与玻璃基底封接在一起，石英谐振梁粘接在硅压力敏感膜片的正面，石英谐振梁由两端的基座和中部腐蚀有矩形腔的梁身构成，基座上表面覆盖有压焊块，...
赵玉龙程荣俊
一种硅基单岛结构石英梁谐振式微压力传感器芯片
一种硅基单岛结构石英梁谐振式微压力传感器芯片，包括石英梁，石英梁通过低应力粘接胶粘接在硅基底的正面上，石英梁的四个对角分别与硅基底正面上的四个对准标记对准，硅基底的背面与玻璃基底封接在一起，玻璃基底的正面腐蚀了凹槽，凹槽...
赵玉龙程荣俊
文献传递
一种硅基双岛结构石英梁谐振式微压力传感器
一种硅基双岛结构石英梁谐振式微压力传感器，包括壳体，壳体的空腔通过压力孔与大气相通，壳体空腔内配置有传感器芯片，传感器芯片包括石英梁、硅基底和玻璃基底，玻璃基底的进气孔与壳体底部的压力孔正对，硅基底与玻璃基底封接，石英梁...
赵玉龙程荣俊
文献传递
一种硅基单岛结构石英梁谐振式微压力传感器芯片
一种硅基单岛结构石英梁谐振式微压力传感器芯片，包括石英梁，石英梁通过低应力粘接胶粘接在硅基底的正面上，石英梁的四个对角分别与硅基底正面上的四个对准标记对准，硅基底的背面与玻璃基底封接在一起，玻璃基底的正面腐蚀了凹槽，凹槽...
赵玉龙程荣俊
文献传递
一种硅基双岛结构石英梁谐振式微压力传感器
一种硅基双岛结构石英梁谐振式微压力传感器，包括壳体，壳体的空腔通过压力孔与大气相通，壳体空腔内配置有传感器芯片，传感器芯片包括石英梁、硅基底和玻璃基底，玻璃基底的进气孔与壳体底部的压力孔正对，硅基底与玻璃基底封接，石英梁...
赵玉龙程荣俊
文献传递
一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片
一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片，包括外围的硅基支撑框架,硅基支撑框架与质量块通过支撑转轴连接，质量块与支撑外框架之间有运动间隙，在质量块上靠近中轴线部位，开有一对完全贯通的空槽，一对双端石英音叉的谐振梁分别放置于...
赵玉龙李波李村程荣俊赵建华
一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器
一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器，底座顶端的凹槽内连接有玻璃基底和两根电极柱，电极柱穿过底座伸出外管壳外，玻璃基底用环氧树脂粘接在底座顶端的凹槽内，玻璃基底的上方配置有石英梁，石英梁由两端的第一、第二基座和中间的梁连...
赵玉龙程荣俊李村田边
文献传递
基于双端固支石英音叉的压力传感器设计技术研究
了双端固支石英音叉的力-频特性和阻尼特性,这些特性为压力传感器设计提供了理论基础.利用力-频特性,双端固支石英音叉作为间接敏感元件检测谐振频率实现压力的测量;利用阻尼特性,双端固支石英音叉作为直接敏感元件感受被测压力,通...
程荣俊赵玉龙李村田边
关键词：压力传感器阻尼特性
一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片
一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片，包括外围的硅基支撑框架,硅基支撑框架与质量块通过支撑转轴连接，质量块与支撑外框架之间有运动间隙，在质量块上靠近中轴线部位，开有一对完全贯通的空槽，一对双端石英音叉的谐振梁分别放置于...
赵玉龙李波李村程荣俊赵建华
文献传递
一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器
一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器，底座顶端的凹槽内连接有玻璃基底和两根电极柱，电极柱穿过底座伸出外管壳外，玻璃基底用环氧树脂粘接在底座顶端的凹槽内，玻璃基底的上方配置有石英梁，石英梁由两端的第一、第二基座和中间的梁连...
赵玉龙程荣俊李村田边
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