王晓晶
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：国防科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 一种微结构力学性能片外弯曲测试装置
- 本实用新型公开了一种微结构力学性能片外弯曲测试装置，包括三维移动平台、抗振固定块、隔振底座、试样安装调整部分、驱动部分、载荷检测部分、位移检测部分和放大观测部分。本实用新型具有调整方便，结构简单，力、位移信号采集准确，能...
- 王晓晶刘彬陶俊勇张云安陈循易晓山
- 文献传递
- 多测试梁的片外弯曲测试微结构
- 本发明公开了一种多测试梁的片外弯曲测试微结构，由正方形的外框架、测试梁、支撑梁和正方形的质量块组成；所述质量块通位于外框架内，外框架与质量块之间通过支撑梁和测试梁连接，所述支撑梁和测试梁呈中心对称分布；所述质量块的中心设...
- 陶俊勇刘彬王晓晶张云安程红伟陈循任志乾
- 文献传递
- 杂质磷对单晶硅微结构疲劳特性的影响——基于Paris公式的分析被引量：2
- 2014年
- 硅基微机电系统中的单晶硅微结构常工作于循环加载状态,易发生疲劳失效。单晶硅微结构疲劳寿命的分散度较大,难以根据不同掺磷浓度试样的疲劳寿命测试数据对比分析出杂质磷对单晶硅微梁弯曲疲劳特性的影响规律,针对此问题进行研究。设计一种弯曲测试结构,该结构可同时对四根微梁进行疲劳测试;设计一种简易的弯曲测试装置,该装置在满足测试精度的同时有效地控制了成本。用各向异性湿法工艺制备6组不同掺磷浓度的试样,并在常温空气环境中对试样进行弯曲疲劳测试。基于Paris公式建立一种微结构疲劳寿命预测的概率模型,用模型对测试数据进行拟合计算,得到材料常数C和n。C随掺磷浓度降低近3个量级,而n增量较小,表明C的变化占主导。所以疲劳裂纹扩展速率有随掺磷浓度增高而降低,这可为硅基微机电系统的疲劳可靠性设计提供有价值的参考。
- 刘彬陶俊勇张云安陈循王晓晶
- 关键词：微机电系统弯曲疲劳寿命掺磷
- 微结构力学性能片外弯曲测试装置
- 本发明公开了一种微结构力学性能片外弯曲测试装置，包括三维移动平台、抗振固定块、隔振底座、试样夹持部分、驱动部分、载荷检测部分、位移检测部分和放大观测部分；三维移动平台设在隔振底座的一侧，抗振固定块设在隔振底座的另一侧，试...
- 刘彬陶俊勇王晓晶张云安陈循蒋瑜易晓山
- 文献传递
- 微结构力学性能片外弯曲测试装置
- 本发明公开了一种微结构力学性能片外弯曲测试装置，包括三维移动平台、抗振固定块、隔振底座、试样夹持部分、驱动部分、载荷检测部分、位移检测部分和放大观测部分；三维移动平台设在隔振底座的一侧，抗振固定块设在隔振底座的另一侧，试...
- 刘彬陶俊勇王晓晶张云安陈循蒋瑜易晓山
- 文献传递
