赵保军
- 作品数：5 被引量：4H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 金纳米粒子作掩模的硅纳米柱阵列的加工
- 2007年
- 利用自组装的方法在硅基片表面形成一层均匀的金纳米粒子掩模,分析了偶联剂对自组装的影响,以金纳米粒子作掩模进行反应离子刻蚀,研究了刻蚀时间对硅纳米柱阵列的影响,提供了一种简单、便宜并且有效的在硅基底上大面积形成纳米柱阵列的纳米加工方法。实验中发现,超过一定刻蚀时间时,有过刻蚀现象发生,在120 s刻蚀时间下,得到了直径小于20 nm,深宽比高达10∶1以上规则、致密、大面积分布的硅纳米柱或硅纳米锥状结构。
- 赵保军王英张亚非
- 关键词：自组装金纳米粒子反应离子刻蚀
- 几种纳米加工技术的原理、特点及其应用被引量：4
- 2007年
- 从整体上介绍了基于传统半导体加工的纳米加工技术、探针直接书写式纳米加工技术、纳米复制加工技术，以及这几种纳米加工技术的原理、特点及其应用。
- 赵保军王英张亚非
- 关键词：掩膜纳米压印
- 几种纳米加工技术的原理、特点及其应用
- 纳米加工技术的发展将带来现代工业和社会文明的极大进步.本文从整体上介绍了基于传统半导体加工的纳米加工技术,纳米掩膜刻蚀加工技术,探针直接书写式纳米加工技术,纳米复制加工技术,以及其衍生的纳米加工技术的原理、特点及其应用.
- 赵保军王英张亚非
- 关键词：纳米压印半导体加工
- 文献传递
- 纳米粒子有序单层和多层薄膜的制备方法
- 一种纳米技术领域的纳米粒子有序单层和多层薄膜的制备方法。本发明步骤为：1.将经过亲水处理后的基片浸泡在配制的硅烷偶联剂溶液中，一段时间后取出，冲洗，干燥；2.将上述基片放入烘箱中进一步加热处理，取出后自然冷却，留做后用；...
- 王英杨明来赵保军张亚非
- 文献传递
- 纳米粒子和碳纳米管的自组装及硅纳米柱阵列的刻蚀加工研究
- 随着集成电路微电子工业迅速发展,传统的光刻工艺已无法满足特征尺寸缩小的需要,因此研究开发新颖的纳米加工技术制备纳米器件具有十分重要的意义。周期性的纳米结构加工在电子器件、传感器、微机电系统等方面十分活跃。近年来随着纳米材...
- 赵保军
- 关键词：碳纳米管微电子工业集成电路纳米材料
- 文献传递
