李文静
- 作品数:8 被引量:18H指数:3
- 供职机构:广东工业大学更多>>
- 发文基金:广州市科技计划项目广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
- PCB激光投影成像装置关键技术参数分析被引量:5
- 2007年
- 对用于印制电路板(PCB)工业化生产的激光投影成像装置中的激光投影系统和激光照明系统的关键技术参数进行了分析,在对装置整体性能设计要求下,理论推导和分析了符合实际场景的关键技术参数,包括分辨率、焦深、物镜结构、激光光源、照明相干度、像素密度和曝光时间,得到了相关的具有一定参考价值的结论。
- 林清华李文静周金运
- 关键词:印制电路板
- 一种光刻物镜
- 本发明是一种光刻物镜。包括有依次装设的物面(10),第一透镜(1),用于改变物与像的方向、使其物与像的方向一致的第一棱镜(7),第二透镜(2),第三透镜(3),光阑(8),第四透镜(4),第五透镜(5),用于改变物与像的...
- 李文静周金运林清华
- 文献传递
- PCB激光投影光刻照明系统的设计被引量:1
- 2007年
- 针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其照明系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计的照明系统,其像面均匀性、光斑大小和形状、像差以及照明系统与投影物镜的匹配都符合实际要求.
- 林清华李文静宋超王鲁宾
- 关键词:印制电路板照明系统
- 大视场直接投影式激光光刻光学系统及其应用
- 本发明是一种大视场直接投影式激光光刻光学系统。包括激光照明系统及激光投影成像系统,激光照明系统包括依次装设的第一柱面镜、第二柱面镜、会聚球面透镜、匀光棒、第一照明透镜、第二照明透镜、第三照明透镜、第四照明透镜、第五照明透...
- 周金运李文静雷亮林清华裴文彦施颖
- 文献传递
- 大视场直接投影式激光光刻光学系统
- 本实用新型是一种大视场直接投影式激光光刻光学系统。包括激光照明系统及激光投影成像系统,激光照明系统包括依次装设的第一柱面镜、第二柱面镜、会聚球面透镜、匀光棒、第一照明透镜、第二照明透镜、第三照明透镜、第四照明透镜、第五照...
- 周金运李文静雷亮林清华裴文彦梅龙华
- 文献传递
- 基于Matlab的APD器件模拟
- 2006年
- 为了迅速了解雪崩光电二极管(APD)的特性以确保量子保密通信系统的质量,在适当的假设前提下,依据经验公式并借助于Matlab的矩阵运算功能计算吸收渐变电荷倍增分离型雪崩光电二极管(SAGCM APD)的电场分布,然后以此得出电子、空穴倍增系数,最后再利用这些系数及传递函数计算出SAGCM APD的增益-电压特性及频率响应特性,模拟的结果较好地与实验结果一致。
- 程涛周金运李文静
- 关键词:MATLAB传递函数量子保密通信
- PCB激光投影成像扫描技术分析被引量:6
- 2007年
- 通过对印制电路板激光投影成像技术使用的步进重复扫描和六边形无接缝扫描方法进行比较,揭示了六边形无接缝扫描技术的优越性能,对六边形无接缝扫描技术的均匀曝光过程及其实现的原理进行了阐述,并对影响扫描成像的曝光量和曝光速度等因素进行了分析.
- 林清华李文静周金运
- 关键词:激光技术印制电路板
- 折叠式激光投影光刻物镜的设计研究被引量:7
- 2007年
- 针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其投影系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析。对于设计的激光投影系统,其特征尺寸分辨力达到了9μm,全视场波像差小于λ/4,畸变小于0.000007%,这些指标符合实际要求。
- 李文静周金运林清华
- 关键词:投影物镜光学设计