莫顺培
- 作品数：4 被引量：21H指数：2
- 供职机构：大连理工大学机械工程学院微纳米技术及系统辽宁省重点实验室更多>>
- 发文基金：国家科技支撑计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 一种三维金属微型腔的组合加工方法被引量：5
- 2010年
- 为了制作局部为三维结构的金属模具微型腔,实验研究了一种组合加工新工艺,即先用紫外线光刻和电铸成形(准LIGA)技术在模具基底上制作二维金属微型腔,再用微细电火花成形加工(EDM)技术对微型腔的局部进行修形,得到局部为三维结构的微型腔,电火花修形的位置根据微型腔结构的设计要求而定.以制作聚合物微流控芯片用的金属模具为试件,以微细电火花成形加工中影响工件表面粗糙度的因素分析为理论指导,应用该方法制作了局部侧壁倾斜的三维微型腔.根据测量结果,两边侧壁与水平方向的夹角分别为49.6°和46.4°,倾斜侧壁的表面粗糙度Ra为0.391μm.
- 刘冲刘文涛杜立群莫顺培
- 关键词：微细电火花加工表面粗糙度
- 一种局部为三维微结构的金属模具的复合加工方法
- 一种局部为三维微结构的金属模具的复合加工方法，本发明属于微细加工技术领域。其特征是结合准LIGA和微细电火花两种微细加工技术，解决了局部是三维，其余部分是二维的复杂微结构的金属模具的加工问题。技术方案如下：基于准LIGA...
- 刘冲杜立群王立鼎王敏杰宋满仓刘军山刘文涛莫顺培
- 文献传递
- UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构被引量：16
- 2010年
- 为了制作三维金属微结构,研究了UV-LIGA和微细电火花加工技术组合的工艺方法。使用UV-LIGA技术制作了准三维金属微结构,然后,对该微结构进行微细电火花加工制作三维金属微结构。使用提出的方法制作出了局部为梯形凸台和锥形凹槽三维微结构的镍模具,给出了梯形凸台和锥形凹槽的尺寸。分析了微细电火花加工中放电参数对表面粗糙度的影响,在工作电压为65V,标称电容为100pF时得到了Ra为0.08μm的微细电火花加工表面。研究结果表明,使用该方法可实现三维金属微结构的制作;通过减小工作电压和标称电容的方法可降低微细电火花加工的表面粗糙度。
- 杜立群莫顺培张余升刘冲
- 关键词：UV-LIGA微细电火花加工表面粗糙度
- UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制造三维金属微结构的研究
- 随着MEMS技术的发展,具有三维金属微结构的微小型器件在很多领域都有着广泛的应用前景。微细加工技术是三维金属微结构的实现基础。UV-LIGA技术加工精度高,易于实现批量生产,但不能直接用于制造三维金属微结构。微细电火花加...
- 莫顺培
- 关键词：UV-LIGA微细电火花加工表面粗糙度
- 文献传递
