骆永洁
- 作品数：6 被引量：26H指数：4
- 供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 基于模板匹配算法的压电微位移器位移量原位测量技术被引量：7
- 2010年
- 针对压电微位移器的位移量高精度测量需要,基于模板匹配算法提出了一种新颖的位移量原位测量方法。利用改进型的Twyman-Green干涉系统对压电微位移器的电压——位移特性曲线进行原位测量,根据模板匹配算法实时计算干涉条纹的移动量,进而得到对应的压电微位移量,并对相关实验测量结果进行了分析与验证。结果表明,该测量技术具有较高的测量效率以及较好的随机噪声抑制能力,其测量精度和分辨率均可达到纳米量级。该方法属于非接触式测量,具有较高的可靠性,在微位移的高精度原位自动测量中具有较好的实用性。
- 王道档杨甬英骆永洁刘东卓永模
- 关键词：微位移测量
- 一种非球面顶点球曲率半径的测量系统及方法
- 本发明公开了一种非球面顶点球曲率半径测量系统及方法。本发明解决了非球面顶点球曲率半径在传统装置中无法精确测量的难点。本发明的技术特点在于，利用一个承担大球差的会聚透镜与辅助消球差补偿镜组合后形成起定位作用的齐明镜组，将非...
- 杨甬英骆永洁田超卓永模吴高峰
- 文献传递
- 非球面部分补偿检测系统的误差分析与处理被引量：5
- 2012年
- 为了实现非球面通用化、高精度检测,提出非球面部分补偿法,并进行误差分析与处理.在光学设计软件ZEMAX中对部分补偿检测系统进行系统建模并优化,分析器件姿态误差及装调精度对重构非球面面形的影响.通过对系统误差的分析,提出基于系统建模的光线追迹与误差存储相结合的系统误差处理方法,将系统误差归为由系统建模得到检测光路的误差和由误差存储得到不含检测光路的干涉仪系统的误差.通过计算机仿真及实验证明,部分补偿检测系统采用该误差处理方法去除系统误差后,可以由逆向迭代优化重构(ROR)技术重构出更精确的非球面面形.将该非球面面形与采用无像差点法得到的面形对比,结果较吻合,均方根(RMS)精度接近0.02λ(λ为波长).
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- 关键词：非球面检测误差分析
- 高精度单幅闭合条纹干涉图相位重构技术被引量：8
- 2010年
- 在干涉检测中,常用各种调制手段将被测信息加载到干涉图中,通过对检测得到的条纹图样进行分析,便可以得到被测信息。如果实验条件不允许施加任何调制手段,探测器检测得到的将很有可能是具有闭合条纹的单幅干涉图。正则化相位跟随(RPT)技术可以对单幅闭合干涉图进行相位重构,但其最主要的问题是精度过低。从最小二乘法角度出发,在经典RPT技术基础上,利用黄金分割(GS)算法对干涉图相位进行二次逼近,实现了对单幅闭合干涉图的高精度相位重构。计算机仿真结果表明该算法在保持了经典RPT算法各项优点的同时能够有效提高相位重构精度。对实际干涉图进行处理的结果与ZYGOGPI干涉仪进行了对比,结果较吻合,平均峰-谷(PV)值精度优于λ/20。
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- 关键词：干涉图相位重构黄金分割
- 压电移相器的空间旋转误差建模与实验分析被引量：5
- 2009年
- 通过对压电移相器在微位移过程中端面旋转的数学建模,对其空间旋转误差进行了理论分析;基于该数学模型,利用泰曼-格林干涉系统对两种不同工艺制作的移相器进行了在线检测,根据干涉条纹的旋转及间距变化,可以定量分析高精度移相器在微位移移相过程中其端面的旋转角度以及空间任意点的位移误差,并给出了相关实验结果。表明:用该方法在线检测各种不同工艺制作的移相器,对其端面上任意点由于端面旋转引起的空间位移误差检测灵敏度达到pm量级,在0～100V驱动电压范围内进行在线移相检测,实验测量移相器的位移精度优于λ/200,对应相移精度高于0.06rad。
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- 关键词：移相器误差分析数学建模
- 非球面部分补偿干涉检测方法的误差分析及系统优化研究
- 本文主要研究了一种介于零位和非零位之间的非球面部分补偿检测方法．该方法采用部分零位镜(PNL)对一定F＃范围内的非球面进行部分补偿，具有一定的通用性，运用基于系统建模的逆向迭代优化重构技术(ROR)可以从探测器平面上的大...
- 骆永洁
- 关键词：误差分析
