胡世昌
- 作品数：23 被引量：12H指数：2
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
- 基于栅结构谐振器的x和y轴加速度及z轴角速度的组合测量（英文）
- 2013年
- 本文利用一由两个相互垂直的加速度计组成的栅结构谐振器来同时测量x轴和y轴的加速度以及z轴的输入角速度.此谐振器利用变面积电容进行检测,具有良好的线性度及快速的信号响应.此谐振器的x轴及y轴的加速度计的谐振频率分别为1.931 5 kHz和1.840 3 kHz.在初始状态下,x轴的加速度计被驱动进入谐振状态,且y轴的加速度随着x轴的加速度计一起振动.当z轴存在角速度输入时,y轴的加速度计会相应地沿y轴进行振动,而x轴及y轴的加速度会改变相应轴上加速度计的平衡位置.测试结果表明,此器件的z轴角速度灵敏度为16 mV/((°)·s^(-1)),x和y轴的加速度灵敏度分别为49 mV/g和244 mV/g.z轴角速度输出的噪声等效角速度为0.013 8°/(?·(?)和y轴加速度输出的噪声等效加速度为0.42×10^(-3)g/(Hz)^(1/2)和0.074×10^(-3)g/(Hz)^(1/2).
- 胡世昌朱辉杰马铭骏刘义冬金仲和
- 关键词：栅结构加速度计陀螺
- 一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺
- 本发明公开了一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺，属于微机械惯性传感器领域。在所述陀螺的驱动或检测方向分布有电调谐变面积电容，在所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其中，...
- 胡世昌金仲和张霞朱辉杰
- 文献传递
- 一种微机械陀螺驱动方法
- 本发明公开了一种微机械陀螺驱动方法，该方法包括交流信号产生、静电驱动信号产生、信号检测、幅度和相位提取四个步骤。本发明通过对微机械陀螺内部扰动的主动补偿，能使驱动模态检测信号的频率和幅度保持恒定，并且该信号与交流驱动信号...
- 朱辉杰金仲和胡世昌刘义东
- 文献传递
- 一种电容式微机械加速度计温度补偿系统及其方法
- 本发明公开了一种电容式微机械加速度计温度补偿系统及其方法，电容式微机械加速度计温度补偿系统包括电容式微机械加速度传感器、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、模拟带通滤波器、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换...
- 朱辉杰金仲和胡世昌刘义东
- 一种静电驱动电容检测的微机械陀螺及其工艺改进
- 2009年
- 介绍了一种新型的体硅微机械工艺制造的框架式陀螺及其工艺改进。框架式设计使得陀螺的驱动模态和检测模态解耦;静电力驱动外框使得陀螺进入初始谐振模态;通过内部质量块和固定电极组成的差分敏感电容对的电容极板交叠面积的变化来检测输入的角速度信号;变面积的检测方法消除了变间距检测电容变化的非线性。陀螺的驱动模态和检测运动模态都在平面内运动,因此工作阻尼以滑模阻尼为主,从而使得器件在常压下也具有较高的品质因子。深反应离子刻蚀获得了大的可动质量块,也使得弹性梁在Y方向和Z方向上有较大的弹性系数,从而降低交叉耦合并获得了较高的吸合电压。改进后的工艺过程降低了深反应离子刻蚀过程中的根部效应对器件的损伤,并同时使得质量块质量增加了50%。对原型器件的驱动和检测特性以及功能结果进行了测试,并给出了测试结果。
- 郑旭东胡世昌张霞金仲和王跃林
- 关键词：微机械陀螺深反应离子刻蚀
- 用于加速度计处理电路的温度补偿装置及其加速度计
- 本发明公开了一种用于加速度计处理电路的温度补偿装置，涉及对数字式加速度计的温度稳定性的改善。本发明温度补偿装置主要包括第二仪表放大器、第二模/数转换器、第二带通滤波器、相干解调器、第二低通滤波器和除法器，所述第二仪表放大...
- 张斌王昊胡世昌金仲和
- 一种微机械可动梳状栅电容及其制作方法
- 本发明公开了一种用于微机械加速度计和微机械陀螺的微机械可动梳状栅电容及其制作方法，它包括固定电极和硅片上的与梁活动连接的栅电极，栅电极的栅槽深度的最小值与栅电容间距的比值为1∶1，所述栅电极的栅槽深度的最大值与硅片厚度的...
- 郑旭东金仲和胡世昌张霞
- 文献传递
- 一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计
- 本发明公开了一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计，属于微机械惯性传感器领域。在该加速度计的敏感方向上分布有用来调节弹性系数的电调谐变面积电容，所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面...
- 金仲和胡世昌张霞朱辉杰
- 用于数字式加速度计处理电路的温度补偿装置及其数字式加速度计
- 本发明公开了一种用于加速度计处理电路的温度补偿装置，涉及对数字式加速度计的温度稳定性的改善。本发明温度补偿装置主要包括第二仪表放大器、第二模/数转换器、第二带通滤波器、相干解调器、第二低通滤波器和除法器，所述第二仪表放大...
- 张斌王昊胡世昌金仲和
- 文献传递
- 一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构
- 本发明公开了一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构，在每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其特征是：所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三...
- 金仲和胡世昌张霞朱辉杰
