石磊
- 作品数：3 被引量：4H指数：2
- 供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
- 平面微弹簧的模拟、加工制备和力学性能表征研究被引量：2
- 2003年
- 微弹簧是一种重要的MEMS器件 ,可为微传感器和微执行器提供弹性力。我们设计并用UV LIGA技术制备了数种不同形状的平面微弹簧 ,并用ANSYS对其力学性能如刚度、断裂强度等进行了模拟。由于制备出的平面微弹簧体积很小 ,无法用常规的测试仪器进行测试 ,我们为此设计并制备了一台平面微弹簧力学性能测试仪 ,其位移分辨率为 1μm ,力分辨率为 1mN。模拟得出的结果与测量结果一致性较好 ,与闭环平面微弹簧相比 ,S型平面微弹簧具有较大的位移和较小的刚度 ,弹簧的刚度随着弹簧厚度的增加而增加。铜微弹簧的屈服强度和屈服位移仅为镍平面微弹簧的 5 % 7%。
- 陈迪石磊朱军李建华倪智萍刘景全李以贵
- 关键词：平面微弹簧MEMS器件UV-LIGA技术力学性能
- S型MEMS平面微弹簧的制备和表征研究被引量：2
- 2004年
- 微弹簧是一种重要的微电子机械系统 ( MEMS)器件 ,它可以为微传感器和微执行器提供弹性驱动力。我们采用 UV- LIGA技术制备出 S型镍平面微弹簧 ,并使用 ANSYS对微弹簧的力学性能进行了模拟。为测试微弹簧的力学性能 ,研制了 1台微弹簧力学性能测试装备。测试结果表明 ,微弹簧可以满足设计需要。另外 ,通过比较得出 :ANSYS对微弹簧力学性能的模拟结果是较为准确的 ,可以作为进一步优化微弹簧设计的基础 ,以满足 MEMS的需要。
- 石磊李建华陈迪倪智萍朱军
- 关键词：微电子机械系统力学性能
- 平面微弹簧的模拟、加工制备和力学性能表征研究
- 微弹簧是一种重要的MEMS器件,可为微传感器和微执行器提供弹性力.我们设计并用UV-LIGA技术制备了数种不同形状的平面微弹簧,并用ANSYS对其力学性能如刚度、断裂强度等进行了模拟.由于制备出的平面微弹簧体积很小,无法...
- 陈迪石磊朱军李建华倪智萍刘景全李以贵
- 关键词：力学性能微机电系统分辨率屈服强度
- 文献传递
