李国光
- 作品数：6 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项中国科学院科研装备研制项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 基于反射测定法的SOI膜厚检测系统
- 2013年
- 研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为±1.30nm;对于厚度为2μm的氧化层,其静态重复性为±0.02nm,动态重复性为±1.60nm。该技术还适用于其他集成电路制造工艺中不同材质的膜厚检测。
- 严冬李国光刘涛熊伟李成敏郭青杨叶甜春
- 关键词：形貌
- 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法被引量：1
- 2013年
- 双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对关系的情况下,通过波片的连续旋转测量偏差角度。探讨了偏差角度对椭圆偏振测量的影响,具体描述了检测方法的原理及数学表达,并通过对检测过程的模拟验证了方法的有效性。此方法对检测和提高双波片式补偿器制造精度具有参考价值。
- 崔高增刘涛李国光郭霞夏洋
- 关键词：光轴消色差
- 利用多个标准样品校准光谱椭圆偏振仪被引量：7
- 2014年
- 光谱椭偏仪是常用的测量薄膜厚度及材料光学性质的仪器，其准确性主要由系统的校准过程确定。提出一种新的利用标准样品校准光谱椭偏仪的方法。该方法通过对多个已知厚度和已知材料特性的薄膜样品进行测量，利用测量得到的多个样品的傅里叶系数光谱与包含未知校准参数的理论光谱之间进行对比，通过最小二乘法拟合，回归求解出整个系统的未知校准参数，包括偏振器方位角，波片延迟，波片方位角和系统入射角等。将该方法的应用领域扩展到2001000nm的宽光谱区域，并通过测量3～13nm的SiO2／Si薄膜样品，实验验证了该方法的有效性，准确性达到0．194nm。该方法相对于传统校准方法更加简单、快速。
- 宋国志刘涛谌雅琴李国光王建东
- 关键词：校准最小二乘法光学常数
- 全反射式宽光谱成像椭偏仪被引量：1
- 2016年
- 本论文采用全反射式光学聚焦结构,通过独特的偏振控制技术,实现宽光谱、无色差成像椭偏仪的研制。在系统校准过程中采用多样品校准方法,利用校准得到的系统参数对待测样品进行成像椭偏分析,确定样品椭偏角ψ和s及薄膜厚度的空间分布。为测试自制成像椭偏仪的准确性,本文对3 nm^300 nm的Si O2/Si样品在200 nm^1 000 nm内多波长下进行成像椭偏测量。实验结果表明,Si O2薄膜厚度最大相对测量误差小于6%。
- 姜春光谌雅琴刘涛熊伟李国光纪峰
- 关键词：椭偏测量
- 样品校准法在单波长椭偏仪中的应用被引量：5
- 2013年
- 椭偏仪是薄膜测量的重要工具。从模拟和实验两方面,描述一种新颖的单波长椭偏仪的校准方法。该方法的基本思路是:如果被测样品的相关信息(折射率n,吸收系数k,厚度d)已知,则可以通过测量光强变化的傅里叶系数,采用最小二乘法原理反演出此时椭偏系统的信息(即校准参数,包括起偏器方位角P,检偏器方位角A,波片起始旋转角Cs,波片位相延迟δ,系统入射角θ0)。利用校准得到的系统参数和测量未知样品得到的光强傅里叶系数,求得未知样品的厚度。该方法具有操作简单、节约成本等优点。分别针对2～6个样品尝试了校准,对该校准方法做了模拟分析。将该方法用于实际测量,考证校准后的测量效果,并做了误差分析,最大误差为0.26nm。
- 徐鹏刘涛王林梓李国光熊伟荣健
- 关键词：最小二乘法
- 严格耦合波收敛层数的研究
- 2013年
- 研究了梯形光栅的结构参数与分层数的关系,通过减少分层数来提高求解光栅衍射效率计算速度。采用开发的软件进行仿真模拟,得到正入射时,TE和TM的收敛层数随着顶宽和周期的增大而减小;TE在占空比小于0.4时,收敛层数随着占空比的增大而减小,之后基本保持不变;TM在占空比为0.5时所需的收敛层数最大,并呈现向两边递减的趋势。结果表明:根据这些规律适当减少分层数可有效提高计算效率。
- 温朗枫熊伟李国光陈树强付永启
- 关键词：光栅
